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1. (WO2018083883) 超音波検査装置及び超音波検査方法

Pub. No.:    WO/2018/083883    International Application No.:    PCT/JP2017/032546
Publication Date: Sat May 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 29/265
G01N 29/28
G01R 31/26
G01R 31/28
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: MATSUMOTO Toru
松本 徹
Title: 超音波検査装置及び超音波検査方法
Abstract:
超音波検査装置1は、パッケージ化された半導体デバイスDを検査対象とする装置であって、半導体デバイスDに対して超音波Wを出力する超音波振動子2と、半導体デバイスDで反射した超音波Wの反射波を検出するレシーバ(反射検出部)13と、半導体デバイスDと超音波振動子2との相対位置を移動させるステージ3と、ステージ3の駆動を制御するステージ制御部21と、超音波振動子2による超音波Wの入力に応じた半導体デバイスDの反応を解析する解析部22と、を備え、ステージ制御部21は、レシーバ13で検出された反射波の時間波形Kに出現するピークに基づいて、半導体デバイスDと超音波振動子2との距離を制御する。