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1. (WO2018083854) 成膜用材料及び皮膜
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国際公開番号: WO/2018/083854 国際出願番号: PCT/JP2017/028578
国際公開日: 11.05.2018 国際出願日: 07.08.2017
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,C01F 17/00 (2006.01) ,C23C 14/06 (2006.01)
[IPC code unknown for C23C 14/24][IPC code unknown for C01F 17][IPC code unknown for C23C 14/06]
出願人:
日本イットリウム株式会社 NIPPON YTTRIUM CO., LTD. [JP/JP]; 福岡県大牟田市大字唐船2081-398 2081-398, Oaza Tosen, Omuta-shi, Fukuoka 8360003, JP
発明者:
深川 直樹 FUKAGAWA, Naoki; JP
佐藤 龍一 SATO, Ryuichi; JP
代理人:
特許業務法人翔和国際特許事務所 SHOWA INTERNATIONAL PATENT FIRM; 東京都港区赤坂二丁目5番7号NIKKEN赤坂ビル7階 NIKKEN AKASAKA BLDG., 7F., 5-7, Akasaka 2-chome, Minato-Ku, Tokyo 1070052, JP
優先権情報:
2016-21561502.11.2016JP
発明の名称: (EN) FILM-FORMING MATERIAL AND FILM
(FR) MATÉRIAU FILMOGÈNE ET FILM
(JA) 成膜用材料及び皮膜
要約:
(EN) This film-forming material includes an oxyfluoride of yttrium, and has a Fischer diameter of 1.0-10 μm and a TD/AD, which is the ratio of the tapped apparent bulk density TD and the static apparent bulk density AD, of 1.6-3.5. The film-forming material preferably is preferably configured such that the volume of pores having a diameter of 100 μm or less as measured by the mercury penetration method is 1.0 cm3/g or less. This film includes an oxyfluoride of yttrium, wherein the film has a Vickers hardness of 200HV0.01 or higher. The film preferably has a fracture toughness of 1.0 x 102Pa∙m1/2 or higher.
(FR) Cette invention concerne un matériau filmogène, comprenant un oxyfluorure d'yttrium et ayant Un diamètre de Fischer de 1,0 à 10 μm et un rapport TD/AD, qui est le rapport de la masse volumique apparente à l'état tassé (TD) et de la masse volumique apparente statique (AD), de 1,6 à 3,5. Le matériau filmogène est de préférence configuré de telle sorte que le volume des pores ayant un diamètre de 100 µm ou moins tel que mesuré par procédé de pénétration de mercure est de 1,0 cm3/g ou moins. Le film selon l'invention comprend un oxyfluorure d'yttrium, le film ayant une dureté Vickers de 200HV0,01 ou plus. Le film présente de préférence une ténacité de 1,0 x 102Pa∙m1/2 ou plus.
(JA) 本発明の成膜用材料は、イットリウムのオキシフッ化物を含み、フィッシャー径が1.0μm以上10μm以下であり、タップ法見掛け嵩密度TDと静置法見掛け嵩密度ADとの比率であるTD/ADが1.6以上3.5以下である。成膜用材料は水銀圧入法により測定した直径100μm以下の細孔の容積が1.0cm/g以下であることが好ましい。また本発明の皮膜はイットリウムのオキシフッ化物を含む皮膜であって、ビッカース硬度が200HV0.01以上である。皮膜は破壊靭性が1.0×10Pa・m1/2以上であることが好ましい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)