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1. (WO2018083800) 膜厚計の位置合わせ治具
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国際公開番号: WO/2018/083800 国際出願番号: PCT/JP2016/082981
国際公開日: 11.05.2018 国際出願日: 07.11.2016
IPC:
G01B 7/06 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
7
電気的または磁気的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
02
長さ,幅または厚みの測定用
06
厚み測定用
出願人:
中国電力株式会社 THE CHUGOKU ELECTRIC POWER CO., INC. [JP/JP]; 広島県広島市中区小町4番33号 4-33, Komachi, Naka-ku, Hiroshima-shi, Hiroshima 7308701, JP
発明者:
真壁 勝久 MAKABE, Katsuhisa; JP
代理人:
一色国際特許業務法人 ISSHIKI & CO.; 東京都港区三田三丁目11番36号 三田日東ダイビル Mita-Nitto Daibiru Bldg., 11-36, Mita 3-chome, Minato-ku, Tokyo 1080073, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ALIGNMENT TOOL FOR FILM THICKNESS METER
(FR) OUTIL D'ALIGNEMENT DESTINÉ À UN ÉPAISSEURMÈTRE DE FILM
(JA) 膜厚計の位置合わせ治具
要約:
(EN) Provided is an alignment tool that is for a film thickness meter and is used together with a measurement tool that is used after being attached to a probe of the film thickness meter. The measurement tool 1 includes a slide member 11 that a probe 52 is fixed to and a guide member 12 that slidably supports the slide member 11 and has a first flat surface on a side that is made to approach an object of measurement. The alignment tool 7 includes a second flat surface that is parallel to the first flat surface, side surfaces 72b-72d that guide the guide member 12 in a sliding manner such that the same is perpendicular to the second flat surface, a bottom surface that has an opening 78 that the leading end of the probe 52 is made to pass through when the slide member 11 is made to slide, and a mark plate 75 that is provided around the opening 78 at a prescribed height from the second flat surface and is provided, on the upper surface thereof, with an indication showing the position at which the leading end of the probe 52 will come into contact with the object of measurement 2.
(FR) L'invention concerne un outil d'alignement qui est destiné à un épaisseurmètre de film et qui est utilisé conjointement avec un outil de mesure qui est utilisé après avoir été fixé à une sonde de l'épaisseurmètre de film. L'outil de mesure (1) comprend un élément coulissant (11) auquel est fixée une sonde (52), et un élément de guidage (12) qui supporte de manière coulissante l'élément coulissant (11) et a une première surface plate sur un côté qui est amenée à s'approcher d'un objet de mesure. L'outil d'alignement (7) comprend une seconde surface plate qui est parallèle à la première surface plate, des surfaces latérales (72b à 72d) qui guident l'élément de guidage (12) d'une manière coulissante de sorte qu'il soit perpendiculaire à la seconde surface plate, une surface inférieure qui a une ouverture (78) que l'extrémité avant de la sonde (52) est amenée à traverser lorsque l'élément coulissant (11) est amené à coulisser, et une plaque de marquage (75) qui est prévue autour de l'ouverture (78) à une hauteur prescrite à partir de la seconde surface plate et qui est pourvue, sur sa surface supérieure, d'une indication montrant la position à laquelle l'extrémité avant de la sonde (52) va entrer en contact avec l'objet de mesure (2).
(JA) 膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具とともに用いる、膜厚計の位置合わせ治具を提供する。測定治具1は、プローブ52が固定されるスライド部材11と、スライド部材11をスライドさせるように支持し、測定対象物に接近させる側に第1平坦面を有するガイド部材12と、を含む。位置合わせ治具7は、第1平坦面と平行な第2平坦面と、第2平坦面に対して垂直になるようにスライド式にガイド部材12を誘導する側面72b~dと、スライド部材11をスライドさせた際にプローブ52の先端を通過させる開口78を有する下面と、開口78の周囲に第2平坦面から所定の高さで設けられ、その上面にプローブ52の先端が測定対象物2に当接する位置を示す表示が設けられた目印板75と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)