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1. (WO2018083740) 走査光学系および観察装置
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国際公開番号:    WO/2018/083740    国際出願番号:    PCT/JP2016/082482
国際公開日: 11.05.2018 国際出願日: 01.11.2016
G02B 13/00 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01), G02B 26/10 (2006.01)
出願人: OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 2951 Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928507 (JP)
発明者: FUKUYAMA, Hiroya; (JP)
代理人: UEDA, Kunio; (JP).
YANAGI, Junichiro; (JP).
OGURI, Mayumi; (JP).
TAKEUCHI, Kuniyoshi; (JP)
(JA) 走査光学系および観察装置
要約: front page image
(EN)In order to prevent astigmatism while preventing image degradation due to a flaw or foreign matter on a lens, while simultaneously placing two galvanometer mirrors in a pupil conjugate state, the scanning optical system (2) pertaining to the present invention is provided with: two one-dimensional scanning means (6, 7) disposed at an interval from each other in an optical axis (S) direction; an objective lens (10) for condensing light rays; a first optical element set (13) disposed in the vicinity of an intermediate image position (A, A’), the first optical element set (13) comprising a plurality of optical elements (11, 12) having different optical powers in a scanning direction; and a second optical element set (16) disposed with the first optical element set interposed therein in the optical axis direction, the second optical element set (16) comprising a plurality of second optical elements (15, 16); the first optical elements being set so as to compensate for the interval of the two one-dimensional scanning means and cancel out the optical powers of each other, the arrangement and phase modulation of at least one of the second optical elements reducing the clarity of an intermediate image, and the arrangement and phase modulation of the remaining second optical element being set so as to cancel out the phase modulation reducing the clarity of the intermediate image.
(FR)Afin d'empêcher l'astigmatisme tout en empêchant une dégradation d'image due à un défaut ou une matière étrangère sur une lentille, tout en plaçant simultanément deux miroirs galvanométriques dans un état conjugué de pupille, le système optique de balayage (2) selon la présente invention comporte : deux moyens de balayage monodimensionnels (6, 7) disposés à un intervalle l'un de l'autre dans un axe optique (S); une lentille d'objectif (10) pour condenser des rayons lumineux; un premier ensemble d'éléments optiques (13) disposé à proximité d'une position d'image intermédiaire (A, A'), le premier ensemble d'éléments optiques (13) comprenant une pluralité d'éléments optiques (11, 12) ayant différentes puissances optiques dans une direction de balayage; et un second ensemble d'éléments optiques (16) disposé avec le premier ensemble d'éléments optiques interposé dans celui-ci dans la direction d'axe optique, le second ensemble d'éléments optiques (16) comprenant une pluralité de seconds éléments optiques (15, 16); les premiers éléments optiques étant réglés de manière à compenser l'intervalle des deux moyens de balayage unidimensionnel et à annuler les puissances optiques les uns des autres, l'agencement et la modulation de phase d'au moins un des seconds éléments optiques réduisant la clarté d'une image intermédiaire, et l'agencement et la modulation de phase du second élément optique restant étant réglés de façon à annuler la modulation de phase réduisant la clarté de l'image intermédiaire.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)