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1. (WO2018079788) プローブカード用基板、プローブカード、および検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/079788    国際出願番号:    PCT/JP2017/039183
国際公開日: 03.05.2018 国際出願日: 30.10.2017
IPC:
G01R 1/04 (2006.01), C04B 35/596 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6 Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP)
発明者: IMAI, Tomohiro; (JP)
代理人: FUKAI, Toshikazu; (JP)
優先権情報:
2016-212582 31.10.2016 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE FOR PROBE CARD, PROBE CARD, AND INSPECTION DEVICE
(FR) SUBSTRAT POUR CARTE SONDE, CARTE SONDE ET DISPOSITIF D'INSPECTION
(JA) プローブカード用基板、プローブカード、および検査装置
要約: front page image
(EN)This substrate for a probe card is provided with a plurality of through-holes in which probes are disposed, the probes being brought into contact with a substance to be measured. The substrate comprises a silicon nitride ceramic, is provided with a first surface facing the substance to be measured and a second surface positioned opposite from the first surface, and includes a plurality of metal silicide crystal phases. The metal constituting part of the metal silicide is at least one selected from molybdenum, chrome, iron, nickel, manganese, vanadium, niobium, tantalum, cobalt, and tungsten.
(FR)L'invention concerne un substrat pour carte sonde pourvu d'une pluralité de trous traversants dans lesquels des sondes sont disposées, les sondes étant mises en contact avec une substance à mesurer. Le substrat comprend une céramique en nitrure de silicium, est pourvu d'une première surface faisant face à la substance à mesurer et d'une seconde surface positionnée à l'opposé de la première surface, et comprend une pluralité de phases cristallines de siliciure métallique. Le métal constituant une partie du siliciure métallique est au moins un élément choisi parmi le molybdène, le chrome, le fer, le nickel, le manganèse, le vanadium, le niobium, le tantale, le cobalt et le tungstène.
(JA)本開示のプローブカード用基板は、測定対象物に当接させるプローブが配置される貫通孔を複数備える。窒化珪素質セラミックスからなり、前記測定対象物に対向する第1面と、該第1面の反対に位置する第2面とを備え、金属珪化物の結晶相を複数含んでおり、前記金属珪化物を構成する金属が、モリブデン、クロム、鉄、ニッケル、マンガン、バナジウム、ニオブ、タンタル、コバルトおよびタングステンから選ばれる少なくとも1種である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)