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World Intellectual Property Organization
1. (WO2018079536) ワーク分割装置及びワーク分割方法
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国際公開番号:    WO/2018/079536    国際出願番号:    PCT/JP2017/038321
国際公開日: 03.05.2018 国際出願日: 24.10.2017
H01L 21/301 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. [JP/JP]; 2968-2, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928515 (JP)
発明者: SHIMIZU, Tasuku; (JP)
代理人: MATSUURA, Kenzo; (JP)
2016-212089 28.10.2016 JP
(JA) ワーク分割装置及びワーク分割方法
要約: front page image
(EN)Provided are a workpiece dividing device and a workpiece dividing method that are capable of solving a problem in which division is not performed along a scheduled division line and which occurs when the chip size is small. A frame 4 of a wafer unit 2 is fixed by means of a frame fixing section 12 of an expansion restricting ring 16. Next, an expand ring 14 is moved upward so as to start the expansion of the whole area of an annular area 3B. Next, when the upward movement amount of the expand ring 14 exceeds the thickness of the frame 4, the annular area 3B makes contact with an expansion restriction section 17, and the expansion of an outer circumferential area 3E located on the outer circumferential side of the annular area 3B is restricted. Next, upward movement of the expand ring 14 is continued and expansion of an inner circumferential area 3F excluding the outer circumferential area 3E in the annular area 3B is continuously performed, so that a wafer 1 is divided into individual chips 6.
(FR)L'invention concerne un dispositif et un procédé de division de pièce à travailler permettant de résoudre un problème selon lequel une division n'est pas effectuée sur une ligne de division programmée et se produit lorsque la taille de puce est petite. Un cadre 4 d'une unité de tranche 2 est fixé au moyen d'une section de fixation 12 de cadre d'un anneau de limitation d'expansion 16. Une bague d'expansion 14 est ensuite déplacée vers le haut de façon à démarrer l'expansion de toute la surface d'une zone annulaire 3B. Lorsque la quantité de déplacement vers le haut de la bague d'expansion 14 dépasse l'épaisseur du cadre 4, la zone annulaire 3B entre alors en contact avec une section de limitation d'expansion 17, et l'expansion d'une zone circonférentielle extérieure 3E située du côté circonférentiel extérieur de la zone annulaire 3B est limitée. Le déplacement vers le haut de la bague d'expansion 14 continue et l'expansion d'une zone circonférentielle intérieure 3F, à l'exclusion de la zone circonférentielle extérieure 3E, s'effectue de façon continue dans la zone annulaire 3B, ce qui permet de diviser une tranche 1 en puces individuelles 6.
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)