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1. (WO2018079363) 圧力センサ
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国際公開番号: WO/2018/079363 国際出願番号: PCT/JP2017/037651
国際公開日: 03.05.2018 国際出願日: 18.10.2017
IPC:
G01L 1/20 (2006.01) ,G01L 1/24 (2006.01) ,G01L 9/02 (2006.01) ,G01L 11/02 (2006.01) ,G01K 11/00 (2006.01) ,B32B 9/00 (2006.01) ,C01G 23/04 (2006.01) ,G01N 25/02 (2006.01) ,H01L 29/84 (2006.01)
[IPC code unknown for G01L 1/20][IPC code unknown for G01L 1/24][IPC code unknown for G01L 9/02][IPC code unknown for G01L 11/02][IPC code unknown for G01K 11][IPC code unknown for B32B 9][IPC code unknown for C01G 23/04][IPC code unknown for G01N 25/02][IPC code unknown for H01L 29/84]
出願人:
パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP/JP]; 大阪府大阪市中央区城見2丁目1番61号 1-61, Shiromi 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5406207, JP
発明者:
中村 嘉孝 NAKAMURA Yoshitaka; --
古田 勤 FURUTA Tsutomu; --
余田 浩好 YODEN Hiroyoshi; --
矢口 充雄 YAGUCHI Mitsuo; --
植田 剛士 UEDA Takeshi; --
代理人:
伊藤 正和 ITO Masakazu; JP
松本 隆芳 MATSUMOTO Takayoshi; JP
細川 覚 HOSOKAWA Satoru; JP
森 太士 MORI Futoshi; JP
優先権情報:
2016-20852125.10.2016JP
2017-07890212.04.2017JP
発明の名称: (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約:
(EN) This pressure sensor 1 is provided with: a base plate 50; and a functional element 40 which is stacked on the base plate 50 and comprises functional titanium dioxide which includes crystal grains of one or more types of β-phase trititanium pentoxide (β-Ti3O5) crystal grains and λ-phase trititanium pentoxide (λ-Ti3O5) crystal grains, and which has the property that, when heated to at least 350°C, at least a portion of the crystal grains of one or more types of β-phase trititanium pentoxide (β-Ti3O5) crystal grains and λ-phase trititanium pentoxide (λ-Ti3O5) crystal grains changes to crystal grains of titanium dioxide (TiO2). The base plate 50 includes a thin-film shaped base-plate thin-film portion 51 in which the thickness in the direction of stacking with the functional element 40 is less than the thickness in other directions.
(FR) L'invention concerne un capteur de pression (1) pourvu : d'une plaque de base (50) ; et d'un élément fonctionnel (40) qui est empilé sur la plaque de base (50) et comprend du dioxyde de titane fonctionnel, lequel comprend des grains cristallins d'un ou de plusieurs type(s) de grains cristallins de pentoxyde de trititane en phase β (β-Ti3O5) et de grains cristallins de pentoxyde de trititane en phase λ (λ-Ti3O5), et qui possède la propriété, lorsqu'il est chauffé à au moins 350 °C, de transformer au moins une partie des grains cristallins d'un ou de plusieurs type(s) de grains cristallins de pentoxyde de trititane en phase β (β-Ti3O5) et de grains cristallins de pentoxyde de trititane en phase λ (λ-Ti3O5) en grains cristallins de dioxyde de titane (TiO2). La plaque de base (50) comprend une partie (51) film mince de plaque de base sous forme de film mince, dont l'épaisseur dans la direction d'empilement avec l'élément fonctionnel (40) est inférieure à l'épaisseur dans les autres directions.
(JA) 本発明の圧力センサ1は、基板50と、基板50に積層され、β相五酸化三チタン(β-Ti)の結晶粒及びλ相五酸化三チタン(λ-Ti)の結晶粒の1種以上の結晶粒を有し、350℃以上に加熱したときにβ相五酸化三チタン(β-Ti)の結晶粒及びλ相五酸化三チタン(λ-Ti)の結晶粒の1種以上の結晶粒の少なくとも一部が二酸化チタン(TiO)の結晶粒に変化する性質を有する機能性酸化チタンからなる機能性素子40と、を備え、基板50は、機能性素子40との積層方向の厚みが他の方向の厚みよりも小さい薄膜状の基板薄膜部51を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)