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1. (WO2018079288) 流体制御装置およびこの流体制御装置を用いた製品製造方法

Pub. No.:    WO/2018/079288    International Application No.:    PCT/JP2017/037042
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: F16K 27/00
H01L 21/02
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED
株式会社フジキン
Inventors: DOYA Hidehiro
堂屋 英宏
Title: 流体制御装置およびこの流体制御装置を用いた製品製造方法
Abstract:
【課題】流体の供給流量を減少させることなく、より一層の小型化、集積化された流体制御装置を提供することにある。 【解決手段】ベースブロック10B,10Cと、ベースブロック10B,10Cの上面にそれぞれ設置される流体用機器120,130と、を有し、ベースブロック10B,10Cの各々は、長手方向に突出する突出管部10p2,10p1を有し、突出管部10p2,10p1の各々は、対応する第2流路13dと連通しており、ベースブロック10Bの下流側端面の突出管部10p2とベースブロック10Cの上流側端面の突出管部10p1とは、気密又は液密に溶接材料WLにより接続されている。