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1. (WO2018078976) 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、及び電子機器

Pub. No.:    WO/2018/078976    International Application No.:    PCT/JP2017/026643
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jul 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 27/146
H01L 21/76
H01L 31/10
H04N 5/369
Applicants: SONY CORPORATION
ソニー株式会社
Inventors: NOUDO Shinichiro
納土 晋一朗
Title: 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、及び電子機器
Abstract:
2PD方式のイメージセンサにおける各種の問題点の少なくとも1つを解決する。 シリコン基板上に形成された光電変換素子をそれぞれ有する複数の画素を備える固体撮像素子であって、一部の前記画素は、前記シリコン基板の厚み方向に沿う方向に平板状に延びる第1種分離領域によって前記光電変換素子を仕切られ、他の一部の前記画素は、前記シリコン基板の厚み方向に沿う方向に平板状に延びる前記第1種分離領域と異なる材料で形成される第2種分離領域によって前記光電変換素子を仕切られている、固体撮像素子。