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1. (WO2018078731) 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
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国際公開番号: WO/2018/078731 国際出願番号: PCT/JP2016/081647
国際公開日: 03.05.2018 国際出願日: 25.10.2016
IPC:
C23C 14/06 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06
被覆材料に特徴のあるもの
出願人:
オーエスジー株式会社 OSG CORPORATION [JP/JP]; 愛知県豊川市本野ヶ原三丁目22番地 22, Honnogahara 3-chome, Toyokawa-shi, Aichi 4420005, JP
発明者:
櫻井 正俊 SAKURAI Masatoshi; JP
ワン メイ WANG Mei; JP
代理人:
池田 治幸 IKEDA Haruyuki; JP
池田 光治郎 IKEDA Kojiro; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) HARD COATING AND MEMBER COATED WITH HARD COATING
(FR) REVÊTEMENT DUR ET ÉLÉMENT REVÊTU D'UN REVÊTEMENT DUR
(JA) 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
要約:
(EN) Provided is a hard coating 24, which is coated on the surface of a tool substrate, and in which an A layer 34, a B layer 36, and a nanoscale alternating layer 40 are alternately laminated to a film thickness of 0.5-20 μm by physical vapor deposition, wherein the nanoscale alternating layer 40 is obtained by alternately laminating a C layer 39 and a nanoscale A layer 37 or nanoscale B layer 38 to nano-order thicknesses, the nanoscale A layer 37 or nanoscale B layer 38 having the same composition as the A layer 34 or B layer 36. The A layer 34 has a compositional formula of (AlaTibCrcαd)N and a thickness of 0.5-1000 nm, the B layer 36 has a compositional formula of (AleTifCrgβh)CXN1-X, and a thickness of 0.5-1000 nm, the nanoscale alternating layer 40 has a thickness of 1-1000 nm, the C layer 39 has a compositional formula of [AliCrj(SiC)kγl]CYN1-Y, and the C layer 39 and the nanoscale A layer 37 or nanoscale B layer have a thickness of 0.5-500 nm.
(FR) L'invention concerne un revêtement dur 24, qui est appliqué sur la surface d'un substrat d'outil, et comprend une couche A 34, une couche B 36, et une nanocouche alternée 40 qui sont stratifiées en alternance à une épaisseur de film de 0,5 à 20 µm par dépôt physique en phase vapeur, la nanocouche alternée 40 étant obtenue par stratification alternée d'une couche C 39 et d'une nanocouche A 37 ou d'une nanocouche B 38 à des épaisseurs nanométriques, la nanocouche A 37 ou la nanocouche B 38 ayant la même composition que la couche A 34 ou la couche B 36. La couche A 34 a la formule de composition (AlaTibCrcαd)N et une épaisseur de 0,5 à 1 000 nm, la couche B 36 a la formule de composition (AleTifCrgβh)CXN1-X, et une épaisseur de 0,5 à 1 000 nm, la nanocouche alternée 40 a une épaisseur de 1 à 1 000 nm, la couche C 39 a la formule de composition [AliCrj(SiC)kγl]CYN1-Y, et la couche C 39 et la nanocouche A 37 ou la nanocouche B ont une épaisseur de 0,5 à 500 nm.
(JA) 工具母材30の表面に被覆される硬質被膜24は、物理的蒸着法により、A層34と、B層36と、A層34またはB層36と同一の組成を有するナノレイヤーA層37またはナノレイヤーB層38およびC層39がナノオーダの厚みで交互に積層されたナノレイヤー交互層40とが交互に積層されて、0.5~20μmの膜厚となるように構成されたものであり、A層34は、組成式が(AlTiCrα)Nであり、0.5~1000nmの厚みを有し、B層36は、組成式が(AlTiCrβ)C1-Xであり、0.5~1000nmの厚みを有し、ナノレイヤー交互層40は1~1000nmの厚みを有するものであり、C層39は、組成式が[AlCr(SiC)γ]C1-Yであり、ナノレイヤーA層37またはナノレイヤーB層38およびC層39は0.5~500nmの厚みを有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)