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1. (WO2018078731) 硬質被膜および硬質被膜被覆部材

Pub. No.:    WO/2018/078731    International Application No.:    PCT/JP2016/081647
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 26 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 14/06
Applicants: OSG CORPORATION
オーエスジー株式会社
Inventors: SAKURAI Masatoshi
櫻井 正俊
WANG Mei
ワン メイ
Title: 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
Abstract:
工具母材30の表面に被覆される硬質被膜24は、物理的蒸着法により、A層34と、B層36と、A層34またはB層36と同一の組成を有するナノレイヤーA層37またはナノレイヤーB層38およびC層39がナノオーダの厚みで交互に積層されたナノレイヤー交互層40とが交互に積層されて、0.5~20μmの膜厚となるように構成されたものであり、A層34は、組成式が(AlaTibCrcαd)Nであり、0.5~1000nmの厚みを有し、B層36は、組成式が(AleTifCrgβh)CXN1-Xであり、0.5~1000nmの厚みを有し、ナノレイヤー交互層40は1~1000nmの厚みを有するものであり、C層39は、組成式が[AliCrj(SiC)kγl]CYN1-Yであり、ナノレイヤーA層37またはナノレイヤーB層38およびC層39は0.5~500nmの厚みを有する。