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1. (WO2018078693) 質量分析装置及びイオン検出装置

Pub. No.:    WO/2018/078693    International Application No.:    PCT/JP2016/081447
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Oct 25 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 49/10
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
Inventors: NISHIGUCHI, Masaru
西口 克
Title: 質量分析装置及びイオン検出装置
Abstract:
平板状の集束電極(8)は、イオンを後段の真空室に導入する加熱キャピラリ(9)の入口端(9a)が開口部(8a)に挿通されるように配置され、イオン化プローブ(5)から噴出する噴霧流を挟んで集束電極(8)と対向する位置に平板状の反射電極(7)が配置される。また、接地された補助電極(6)がイオン化プローブ(5)と反射電極(7)及び集束電極(8)の間に配置される。加熱キャピラリ(9)は接地され、正イオン測定時に、V1>V2>0である電圧V1及び電圧V2が反射電極(7)及び集束電極(8)に印加される。反射電極(7)及び集束電極(8)の間の空間に噴霧流に乗って進行する試料成分由来を反射及び偏向させる反射電場が形成され、入口端(9a)付近にはイオンを該入口端(9a)に集束させる集束電場が形成される。試料成分由来のイオンはガス流から分離されて効率良く入口端(9a)に集まり、加熱キャピラリ(9)中に吸い込まれて質量分析部へと送られる。