国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018078667) 高光電変換効率太陽電池及び高光電変換効率太陽電池の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/078667    International Application No.:    PCT/JP2016/004690
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 26 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 31/068
Applicants: SHIN-ETSU CHEMICAL CO.,LTD.
信越化学工業株式会社
Inventors: WATABE, Takenori
渡部 武紀
MITTA, Ryo
三田 怜
HASHIGAMI, Hiroshi
橋上 洋
OHTSUKA, Hiroyuki
大塚 寛之
Title: 高光電変換効率太陽電池及び高光電変換効率太陽電池の製造方法
Abstract:
本発明は、第一導電型を有する半導体基板の両主表面に凹凸を形成する工程、半導体基板の第一主表面に、ベース層を形成する工程、ベース層上に拡散マスクを形成する工程、拡散マスクをパターン状に除去する工程、第一主表面の拡散マスクを除去した箇所に、エミッタ層を形成する工程、残存させた拡散マスクを除去する工程、第一主表面上に誘電体膜を形成する工程、ベース層上にベース電極を形成する工程、エミッタ層上にエミッタ電極を形成する工程を有する太陽電池の製造方法である。これにより、工数を削減しつつも高い光電変換効率を示す太陽電池の製造方法が提供される。