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1. (WO2018074450) 電子線照射装置

Pub. No.:    WO/2018/074450    International Application No.:    PCT/JP2017/037470
Publication Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 18 01:59:59 CEST 2017
IPC: G21K 5/04
G21K 5/00
Applicants: IWASAKI ELECTRIC CO., LTD.
岩崎電気株式会社
Inventors: ITOU Masayoshi
伊藤 昌好
OOIZUMI Matsutoshi
大泉 末年
IDE Takashi
井出 崇
SUZUKI Yousuke
鈴木 陽介
Title: 電子線照射装置
Abstract:
小型化及び軽量化を図った電子線照射装置を提供する。 電子線80を発生させる電子線発生部10を備え、電子線発生部10は、熱電子を発生させるフィラメント13、及び当該フィラメント13で発生した熱電子が通過する拡散板15を有するターミナル11と、熱電子を真空空間で加速させる真空チャンバ20と、を有し、真空チャンバ20には、電子線発生部10で発生した電子線を放出させる電子線取出窓16が設けられ、ターミナル11には、高電圧ケーブル30が差し込まれるコネクタ40が直接接続されている。