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1. (WO2018074322) プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の制御方法

Pub. No.:    WO/2018/074322    International Application No.:    PCT/JP2017/037016
Publication Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Oct 13 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05H 1/46
H01L 21/3065
H01L 21/31
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
TOHOKU UNIVERSITY
国立大学法人東北大学
Inventors: HIRAYAMA Masaki
平山 昌樹
Title: プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の制御方法
Abstract:
一実施形態のプラズマ処理装置は、接地された処理容器と、処理容器の内部にて被処理体を支持する載置台と、処理容器の載置台と対面するように配置された複数の電極であり、互いに絶縁された、該複数の電極と、プラズマ生成用の高周波電力を供給する高周波電源であり、複数の電極のうち異なる2つの電極の間、又は、複数の電極のうちの1つの電極と処理容器との間に電気的に接続された、該高周波電源と、インピーダンスを制御可能なインピーダンス可変回路であり、複数の電極のうち異なる2つの電極の間、又は、複数の電極のうちの1つの電極と処理容器との間に電気的に接続された、該インピーダンス可変回路と、を備える。