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1. (WO2018074282) レーザアニール方法およびレーザアニール装置

Pub. No.:    WO/2018/074282    International Application No.:    PCT/JP2017/036659
Publication Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 11 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/20
H01L 21/268
Applicants: THE JAPAN STEEL WORKS,LTD.
株式会社日本製鋼所
Inventors: KOBAYASHI Naoyuki
小林 直之
Title: レーザアニール方法およびレーザアニール装置
Abstract:
被処理体の照射面上のビーム断面において強度が外側に向かって小さくなる強度勾配を有する周囲強度勾配域を周囲に有し、周囲強度勾配域の内側に強度が平坦な強度平坦域を有するパルス状のレーザ光のビームを、被処理体上のM箇所(Mは2以上の整数)に位置させ、被処理体に対しビームを相対的に走査しつつ照射して、被処理体の同一箇所にビームをN回(Nは2以上の整数)照射させる照射工程を有し、ビームが、照射面上のビーム断面において、強度平坦域の走査方向の長さをW、走査方向と直交する直交方向の強度平坦域の長さをLとして、隣接するビームが順次、走査方向に2W-W/N、走査方向と直交する方向にL/Nの距離でずれて位置し、かつ走査方向におけるビーム照射1回当たりの送りピッチをWとする。