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1. (WO2018074253) レーザ光照射装置
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国際公開番号: WO/2018/074253 国際出願番号: PCT/JP2017/036362
国際公開日: 26.04.2018 国際出願日: 05.10.2017
IPC:
B23K 26/064 (2014.01) ,B23K 26/067 (2006.01) ,C03B 33/09 (2006.01) ,G02B 5/18 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
[IPC code unknown for B23K 26/064]
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
K
ハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26
レーザービームによる加工,例.溶接,切断,穴あけ
02
加工物の位置決めまたは観察,例.照射点に関するもの;レーザービームの軸合せ,照準,焦点合せ
06
レーザービーム光の成形,例.マスクまたは多焦点装置によるもの
067
ビームの分割,例.多焦点装置(マルチ・フォーカシング)
C 化学;冶金
03
ガラス;鉱物またはスラグウール
B
ガラス、鉱物またはスラグウールの製造または成形;または、ガラス、鉱物またはスラグウールの製造または成形における補助プロセス
33
冷えたガラスの切断
09
熱衝撃によるもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
18
回折格子
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
出願人:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
発明者:
奥間 惇治 OKUMA Junji; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
優先権情報:
2016-20529419.10.2016JP
発明の名称: (EN) LASER LIGHT IRRADIATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RAYONNEMENT DE LUMIÈRE LASER
(JA) レーザ光照射装置
要約:
(EN) This laser light irradiating device is provided with: a spatial optical modulator which, in accordance with a phase pattern, modulates laser light output from a laser light source and emits the modulated laser light; an objective lens which condenses, toward a target object, the laser light emitted from the spatial optical modulator; a converging lens which is disposed in the optical path of the laser light, between the spatial optical modulator and the objective lens, and which causes the laser light to converge; and a slit member which is disposed in the optical path of the laser light at the position of a focal point after the converging lens, to block a portion of the laser light. The phase pattern includes a first pattern for modulating a portion of the laser light incident on a pupil plane of the objective lens, and a second pattern for modulating the remaining portion of the laser light. The second pattern includes a diffraction grating pattern for causing the remaining portion of the laser light to branch into a plurality of diffracted light beams, and the slit member blocks the diffracted light beams by means of a slit.
(FR) Dispositif de rayonnement de lumière laser pourvu : d'un modulateur optique spatial qui, conformément à un motif de phase, module une lumière laser sortie d'une source de lumière laser et émet la lumière laser modulée ; d'une lentille d'objectif qui condense, vers un objet cible, la lumière laser émise à partir du modulateur optique spatial ; d'une lentille convergente qui est disposée dans le chemin optique de la lumière laser, entre le modulateur optique spatial et la lentille d'objectif, et qui amène la lumière laser à converger ; et d'un élément fendu qui est disposé dans le chemin optique de la lumière laser dans la position d'un point focal après la lentille convergente, pour bloquer une partie de la lumière laser. Le motif de phase comprend un premier motif pour moduler une partie de la lumière laser incidente sur un plan de pupille de la lentille d'objectif, et un second motif pour moduler la partie restante de la lumière laser. Le second motif comprend un motif de réseau de diffraction pour amener la partie restante de la lumière laser à bifurquer en une pluralité de faisceaux lumineux diffractés, et l'élément fendu bloque les faisceaux lumineux diffractés au moyen d'une fente.
(JA) レーザ光源から出力されたレーザ光を位相パターンに応じて変調して出射する空間光変調器と、前記空間光変調器から出射された前記レーザ光を対象物に向けて集光する対物レンズと、前記レーザ光の光路における前記空間光変調器と前記対物レンズとの間に配置され、前記レーザ光を集束する集束レンズと、前記レーザ光の光路における前記集束レンズの後側の焦点位置に配置され、前記レーザ光の一部を遮断するスリット部材と、を備え、前記位相パターンは、前記対物レンズの瞳面に入射する前記レーザ光の一部を変調する第1パターンと、前記レーザ光の残部を変調する第2パターンと、を含み、前記第2パターンは、前記レーザ光の前記残部を複数の回折光に分岐させるための回折格子パターンを含み、前記スリット部材は、スリットによって前記回折光を遮断する、レーザ光照射装置。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)