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1. (WO2018074239) マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置
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国際公開番号: WO/2018/074239 国際出願番号: PCT/JP2017/036175
国際公開日: 26.04.2018 国際出願日: 04.10.2017
IPC:
H05H 1/46 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
46
電磁界を用いるもの,例.高周波またはマイクロ波エネルギー
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
金子 和史 KANEKO Kazushi; JP
河田 祐紀 KAWADA Yuuki; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柏岡 潤二 KASHIOKA Junji; JP
優先権情報:
2016-20438918.10.2016JP
発明の名称: (EN) MICROWAVE OUTPUT DEVICE AND PLASMA PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SORTIE DE MICRO-ONDES ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置
要約:
(EN) In a microwave output device according to one embodiment of the present invention, part of a traveling wave that propagates from the microwave generation unit to the output unit is output from a directional coupler. In a first measurement unit, an analog signal corresponding to part of the power of the traveling wave is generated by diode detection, and said analog signal is converted into a digital value. In addition, one or more correction coefficients made to correspond to the setting frequency, setting power and setting bandwidth of the microwaves specified to the microwave output device is selected. Measurement values are determined by multiplying the selected one or more correction coefficients by digital values.
(FR) Dans un dispositif de sortie de micro-ondes selon un mode de réalisation de la présente invention, une partie d'une onde progressive qui se propage de l'unité de génération de micro-ondes à l'unité de sortie est émise par un coupleur directionnel. Dans une première unité de mesure, un signal analogique correspondant à une partie de la puissance de l'onde progressive est généré par détection de diode, et ledit signal analogique est converti en valeur numérique. En outre, un ou plusieurs coefficients de correction sont sélectionnés, lesquels sont destinés à correspondre à la fréquence de réglage (Fset), la puissance de réglage (Pset) et la largeur de bande de réglage (Wset) des micro-ondes spécifiées au dispositif de sortie de micro-ondes. Des valeurs de mesure sont déterminées en multipliant le ou les coefficients de correction sélectionnés par des valeurs numériques.
(JA) 一実施形態のマイクロ波出力装置では、マイクロ波発生部から出力部まで伝搬する進行波の一部が方向性結合器から出力される。第1の測定部では、ダイオード検波により進行波の一部のパワーに応じたアナログ信号が生成され、当該アナログ信号がデジタル値に変換される。また、マイクロ波出力装置に指定されたマイクロ波の設定周波数、設定パワー、及び、設定帯域幅に対応付けられた一以上の補正係数が選択される。選択された一以上の補正係数がデジタル値と乗算されることにより、測定値が決定される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)