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1. (WO2018074190) 真空ポンプ、および真空ポンプに備わるらせん状板、回転円筒体、ならびにらせん状板の製造方法
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国際公開番号: WO/2018/074190 国際出願番号: PCT/JP2017/035472
国際公開日: 26.04.2018 国際出願日: 29.09.2017
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D
非容積形ポンプ
19
特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02
多段ポンプ
04
高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
出願人:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
発明者:
樺澤 剛志 KABASAWA Takashi; JP
優先権情報:
2016-20584220.10.2016JP
発明の名称: (EN) VACUUM PUMP, SPIRAL PLATE PROVIDED TO VACUUM PUMP, ROTARY CYLINDRICAL BODY, AND SPIRAL PLATE MANUFACTURING METHOD
(FR) POMPE À VIDE, PLAQUE EN SPIRALE DISPOSÉE DANS UNE POMPE À VIDE, CORPS CYLINDRIQUE ROTATIF, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PLAQUE EN SPIRALE
(JA) 真空ポンプ、および真空ポンプに備わるらせん状板、回転円筒体、ならびにらせん状板の製造方法
要約:
(EN) [Problem] To provide a vacuum pump that has excellent exhaust performance and can be achieved at a low cost, and to provide a spiral plate, a rotary cylindrical body, and a spiral plate manufacturing method. [Solution] In a vacuum pump according to an embodiment, a spiral plate downstream of a slit is not disposed on an extended line of a spiral plate upstream of the slit, and is disposed so as to move in a direction in which a gap formed by the slit narrows. The amount of movement of the downstream spiral plate is an amount of overlap such that the gap between the spiral plates is eliminated on the upstream side and the downstream side. With regard to cutting the spiral plates, the radius of an end mill used for machining is smaller than the slit width of the spiral plates. The radius of the end mill used for machining is smaller than the phase difference between the upstream spiral plate and the downstream spiral plate. The end of the spiral plate where the slit is formed is chamfered.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir une pompe à vide ayant une excellente performance d'évacuation et qui puisse être mise en œuvre à un faible coût, et de fournir une plaque en spirale, un corps cylindrique rotatif, et un procédé de fabrication de plaque en spirale. La solution selon un mode de réalisation d'une pompe à vide porte sur une plaque en spirale du côté aval d'une fente qui n'est pas disposée sur une ligne étendue d'une plaque en spirale du côté amont de la fente, et qui est disposée de façon à se déplacer dans une direction dans laquelle on observe une diminution d'un espace formé par la fente. En outre, la quantité de mouvement d'une plaque en spirale du côté aval correspond à une quantité de chevauchement telle que l'espace entre les plaques en spirale est éliminé par la plaque en spirale du côté amont et par la plaque en spirale du côté aval. De plus, en ce qui concerne la coupe des plaques en spirale, le rayon d'une fraise en bout utilisée pour l'usinage est inférieur à la largeur de fente des plaques en spirale. De plus encore, le rayon de la fraise en bout utilisée pour l'usinage est inférieur à une différence de phase entre la plaque en spirale du côté amont et la plaque en spirale du côté aval. En outre, l'extrémité de la plaque en spirale sur laquelle est formée la fente est chanfreinée.
(JA) 【課題】排気能力が優れ、低コストで実現可能な真空ポンプ、らせん状板、回転円筒体、らせん状板の製造方法を提供する。 【解決手段】実施形態に係る真空ポンプでは、スリットよりも下流側のらせん状板を、スリットよりも上流側のらせん状板の延長線上には配設せず、かつ、スリットにより形成される隙間を小さくする方向へ移動して配設する。更に、下流側のらせん状板の移動量は、上流側と下流側とでらせん状板同士の隙間がなくなり重なる量とする。また、らせん状板を削り出すにあたり、加工用エンドミルの半径はらせん状板のスリット幅よりも小さくする。また、加工用エンドミルの半径は上流側のらせん状板と下流側のらせん状板との位相差よりも小さくする。さらに、らせん状板のスリットが形成される端部に面取り加工を施す。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)