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1. (WO2018074094) 圧力センサ

Pub. No.:    WO/2018/074094    International Application No.:    PCT/JP2017/032337
Publication Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 08 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01L 9/00
H01L 29/84
Applicants: DENSO CORPORATION
株式会社デンソー
Inventors: INABA Akira
稲葉 亮
MURATA Minoru
村田 稔
Title: 圧力センサ
Abstract:
圧力センサ(1)は、センサチップ(2)と支持部材(3)とを備えている。支持部材は、ダイアフラム(23)から離隔した位置にてセンサチップを支持する。圧力センサは、支持部材と接合される接合面(20a)とその反対側のゲージ面(20b)との距離をh、センサチップの内接円直径をd1、ダイアフラムの板圧をt、ダイアフラムの内接円直径をd2とした場合、h=0.3~2.5mm、d1=0.7~2.5mm、h/d1≧1、t=5~15μm、d2=350~700μmとなるように構成されている。