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1. (WO2018074013) 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置
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国際公開番号:    WO/2018/074013    国際出願番号:    PCT/JP2017/024492
国際公開日: 26.04.2018 国際出願日: 04.07.2017
IPC:
B32B 37/10 (2006.01), G02F 1/1339 (2006.01), G09F 9/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; 9, Kanda-nishikicho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054 (JP)
発明者: SATO Kenji; (JP).
OHTANI Yoshikazu; (JP)
代理人: EICHI PATENT & TRADEMARK CORP.; 45-13, Sengoku 4-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1120011 (JP)
優先権情報:
2016-203616 17.10.2016 JP
発明の名称: (EN) APPARATUS FOR VACUUM BONDING OF BONDED DEVICE
(FR) APPAREIL POUR LA LIAISON SOUS VIDE D'UN DISPOSITIF LIÉ
(JA) 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置
要約: front page image
(EN)A positional deviation between a first workpiece and a second workpiece due to a change in gas pressure and a change in temperature in a bonding space is prevented. A vacuum bonding apparatus is provided with: a first holding member having a first workpiece holding surface for a first workpiece; a second holding member facing the first workpiece holding surface across a bonding space and having a second workpiece holding surface for a second workpiece; a separation drive section that causes one or both of the first holding member and the second holding member to relatively move toward each other; a room pressure regulation section that discharges gas from the bonding space to an external space to regulate the bonding space from an ambient atmosphere to a depressurized atmosphere; and a control section that operates and controls the separation drive section and the room pressure regulation section. One or both of the first workpiece holding surface and the second workpiece holding surface have a plurality of convex parts formed to face and detachably contact non-bonding surfaces of one or both of the first workpiece and the second workpiece, and a plurality of concave groove parts formed adjacent to the plurality of convex parts to face the non-bonding surfaces. The plurality of convex parts and the plurality of concave groove parts are disposed in an arrangement that has isotropy in directions in which the plurality of convex parts and the plurality of concave groove parts intersect each other on the non-bonding surfaces throughout one or both of the first workpiece holding surface and the second workpiece holding surface. In a state in which the non-bonding surfaces are in contact with the plurality of convex parts, the plurality of concave groove parts serve as ventilation paths through which the bonding space and the external space communicate with each other. The control section performs control to cause gas to flow in a similar manner in each intersecting direction on the non-bonding surfaces through the ventilation paths when the bonding space is depressurized and opened to the ambient atmosphere by the room pressure regulation section.
(FR)Selon l'invention, un écart de position entre une première pièce à usiner et une seconde pièce à usiner dû à un changement de pression de gaz et un changement de température dans un espace de liaison est empêché. Un appareil de liaison sous vide comprend: un premier élément de maintien ayant une première surface de maintien de pièce à usiner pour une première pièce à usiner ; un second élément de maintien faisant face à la première surface de maintien de pièce à usiner à travers un espace de liaison et ayant une seconde surface de maintien de pièce à usiner pour une seconde pièce à usiner ; une section d'entraînement de séparation qui amène l'un ou les deux parmi le premier élément de maintien et le second élément de maintien à se déplacer relativement l'un vers l'autre; une section de régulation de pression ambiante qui évacue le gaz de l'espace de liaison vers un espace externe pour réguler l'espace de liaison depuis une atmosphère ambiante à une atmosphère dépressurisée; et une section de commande qui actionne et commande la section d'entraînement de séparation et la section de régulation de pression ambiante. L'une ou les deux de la première surface de maintien de pièce à usiner et de la seconde surface de maintien de pièce à usiner ont une pluralité de parties convexes formées de façon à faire face à et à entrer en contact de manière détachable avec les surfaces de non-liaison d'une ou des deux de la première pièce à usiner et de la seconde pièce à usiner, et une pluralité de parties de rainures concaves formées adjacentes à la pluralité de parties convexes pour faire face aux surfaces de non-liaison. La pluralité de parties convexes et la pluralité de parties de rainures concaves sont disposées selon un agencement qui a une isotropie dans des directions dans lesquelles la pluralité de parties convexes et la pluralité de parties de rainures concaves se croisent sur les surfaces de non-liaison tout au long d'une ou des deux surfaces parmi la première surface de maintien de pièce à usiner et la seconde surface de maintien de pièce à usiner. Dans un état dans lequel les surfaces de non-liaison sont en contact avec la pluralité de parties convexes, la pluralité de parties de rainures concaves servent de trajets de ventilation à travers lesquels l'espace de liaison et l'espace externe communiquent l'un avec l'autre. La section de commande effectue une commande pour amener le gaz à s'écouler de manière similaire dans chaque direction d'intersection sur les surfaces de non-liaison à travers les trajets de ventilation lorsque l'espace de liaison est dépressurisé et ouvert à l'atmosphère ambiante par la section de régulation de pression ambiante.
(JA)貼り合わせ空間の気圧変化及び温度変化による第一ワークと第二ワークの位置ズレを防止する。第一ワークの第一ワーク保持面を有する第一保持部材と、第一ワーク保持面と貼り合わせ空間を挟んで対向し且つ第二ワークの第二ワーク保持面を有する第二保持部材と、第一保持部材又は第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させる接離用駆動部と、貼り合わせ空間から気体を外部空間に排出して貼り合わせ空間を大気雰囲気から減圧雰囲気まで調整する室圧調整部と、接離用駆動部及び室圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、第一ワーク保持面又は第二ワーク保持面のいずれか一方か若しくは両方は、第一ワーク又は第二ワークのうち一方或いは両方の非貼合面と対向して着脱自在に接触するように形成される複数の凸状部と、複数の凸状部の隣に非貼合面と対向するように形成される複数の凹溝部と、を有し、複数の凸状部及び複数の凹溝部は、第一ワーク保持面又は第二ワーク保持面のいずれか一方か若しくは両方の全体に亘って、複数の凸状部及び複数の凹溝部が非貼合面の交差する方向へ等方性を有する配置に並べられ、複数の凸状部に対する非貼合面の接触状態で、複数の凹溝部が貼り合わせ空間と外部空間をそれぞれ連通する通気路であり、制御部は、室圧調整部による貼り合わせ空間の減圧時及び大気解放時において、通気路により気体を非貼合面の交差する方向へそれぞれ同様に流動させるように制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)