国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018074013) 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置

Pub. No.:    WO/2018/074013    International Application No.:    PCT/JP2017/024492
Publication Date: Fri Apr 27 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jul 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: B32B 37/10
G02F 1/1339
G09F 9/00
H01L 21/02
H01L 21/683
Applicants: SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD.
信越エンジニアリング株式会社
Inventors: SATO Kenji
佐藤 謙司
OHTANI Yoshikazu
大谷 義和
Title: 貼合デバイスの真空貼り合わせ装置
Abstract:
貼り合わせ空間の気圧変化及び温度変化による第一ワークと第二ワークの位置ズレを防止する。第一ワークの第一ワーク保持面を有する第一保持部材と、第一ワーク保持面と貼り合わせ空間を挟んで対向し且つ第二ワークの第二ワーク保持面を有する第二保持部材と、第一保持部材又は第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させる接離用駆動部と、貼り合わせ空間から気体を外部空間に排出して貼り合わせ空間を大気雰囲気から減圧雰囲気まで調整する室圧調整部と、接離用駆動部及び室圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、第一ワーク保持面又は第二ワーク保持面のいずれか一方か若しくは両方は、第一ワーク又は第二ワークのうち一方或いは両方の非貼合面と対向して着脱自在に接触するように形成される複数の凸状部と、複数の凸状部の隣に非貼合面と対向するように形成される複数の凹溝部と、を有し、複数の凸状部及び複数の凹溝部は、第一ワーク保持面又は第二ワーク保持面のいずれか一方か若しくは両方の全体に亘って、複数の凸状部及び複数の凹溝部が非貼合面の交差する方向へ等方性を有する配置に並べられ、複数の凸状部に対する非貼合面の接触状態で、複数の凹溝部が貼り合わせ空間と外部空間をそれぞれ連通する通気路であり、制御部は、室圧調整部による貼り合わせ空間の減圧時及び大気解放時において、通気路により気体を非貼合面の交差する方向へそれぞれ同様に流動させるように制御する。