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1. (WO2018070445) レーザ加工装置、及び、動作確認方法

Pub. No.:    WO/2018/070445    International Application No.:    PCT/JP2017/036872
Publication Date: Fri Apr 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Oct 12 01:59:59 CEST 2017
IPC: B23K 26/00
B23K 26/062
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: IGASAKI Yasunori
伊ケ崎 泰則
Title: レーザ加工装置、及び、動作確認方法
Abstract:
レーザ光を出力するレーザ光源と、前記レーザ光源から出力された前記レーザ光を位相パターンに応じて変調して出射する空間光変調器と、前記空間光変調器から出射された前記レーザ光を対象物に集光する対物レンズと、前記空間光変調器に表示する位相パターンを制御する制御部と、前記空間光変調器の動作が正常であるか否かの判定を行う判定部と、を備え、前記制御部は、前記空間光変調器に表示する前記位相パターンを切り替えるための切替制御を行い、前記判定部は、前記空間光変調器から出射された前記レーザ光の前記切替制御の前と前記切替制御の後との間の強度の変化に基づいて前記判定を行う、レーザ加工装置。