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1. (WO2018070188) 電解処理治具、電解処理治具の製造方法及び電解処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/070188    国際出願番号:    PCT/JP2017/033498
国際公開日: 19.04.2018 国際出願日: 15.09.2017
IPC:
C25D 5/00 (2006.01), C25D 7/12 (2006.01), C25D 17/08 (2006.01), C25D 17/12 (2006.01), C25D 21/12 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
発明者: HOSHINO, Tomohisa; (JP).
HAMADA, Masato; (JP)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; (JP).
KAMEYA, Yoshiaki; (JP).
HAGIWARA, Yasushi; (JP)
優先権情報:
2016-200598 12.10.2016 JP
発明の名称: (EN) ELECTROLYTIC TREATMENT TOOL, METHOD FOR MANUFACTURING ELECTROLYTIC TREATMENT TOOL, AND ELECTROLYTIC TREATMENT DEVICE
(FR) OUTIL DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'OUTIL DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT ÉLECTROLYTIQUE
(JA) 電解処理治具、電解処理治具の製造方法及び電解処理装置
要約: front page image
(EN)This electrolytic treatment tool, which uses a treatment liquid supplied to a substrate to be processed and performs an electrolytic treatment on the substrate to be processed, has: a base body having a planar shape, a recessed part formed on the outer surface thereof, and a through-hole formed penetrating from the rear surface thereof to the recessed part; and an electrode component provided by being embedded into at least the recessed part. The electrode component is provided with a direct electrode for coming into contact with the treatment liquid and applying a voltage between the electrode component and the substrate to be processed, and direct electrode wiring connected to the direct electrode is provided inside the through-hole.
(FR)La présente invention concerne un outil de traitement électrolytique, qui utilise un liquide de traitement distribué sur un substrat à traiter et effectue un traitement électrolytique sur le substrat à traiter, qui comprend : un corps de base ayant une forme plane, une partie évidée formée sur la surface externe de celui-ci, et un trou traversant formé pénétrant de la surface arrière de celui-ci à la partie évidée; et un composant d'électrode disposé en étant incorporé dans au moins la partie évidée. Le composant d'électrode est pourvu d'une électrode directe pour venir en contact avec le liquide de traitement et appliquer une tension entre le composant d'électrode et le substrat à traiter, et un câblage d'électrode direct connecté à l'électrode directe est disposé à l'intérieur du trou traversant.
(JA)被処理基板に供給された処理液を用いて、当該被処理基板に電解処理を行う電解処理治具は、平板形状を有し、表面に窪み部が形成され且つ裏面から当該窪み部に連通する貫通孔が形成された基体と、少なくとも当該窪み部に嵌め込まれて設けられた電極部品と、を有し、当該電極部品は、処理液に接触して被処理基板との間で電圧を印加するための直接電極を備え、貫通孔の内部には、直接電極に接続される直接電極用配線が設けられている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)