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1. (WO2018070123) 圧力センサ
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国際公開番号: WO/2018/070123 国際出願番号: PCT/JP2017/030919
国際公開日: 19.04.2018 国際出願日: 29.08.2017
IPC:
G01L 5/00 (2006.01) ,G01L 1/20 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
5
特定の目的に適合した,力,例.衝撃によるもの,仕事,機械的動力またはトルクを測定する装置または方法
G 物理学
01
測定;試験
L
力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
1
力または応力の測定一般
20
固体物質または導電性流体のオーム抵抗変化の測定によるもの;動電セル,すなわち応力の印加によって電圧が誘起または変化する含液セルを利用するもの
出願人:
NISSHA株式会社 NISSHA CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市中京区壬生花井町3番地 3, Mibu Hanai-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6048551, JP
発明者:
灘 秀明 NADA, Hideaki; JP
優先権情報:
2016-20157413.10.2016JP
発明の名称: (EN) PRESSURE SENSOR
(FR) DÉTECTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサ
要約:
(EN) [Problem] To widen, in a pressure sensor including a plurality of electrodes arranged with an interval therebetween, a pressure measurement range where measurement can be accurately performed. [Solution] A pressure sensor 1 is provided with a common electrode 9, a plurality of sensitization electrodes 31, a plurality of mountain-like pressure sensitive layers 33, and a plurality of thin film transistors 30. The common electrode 9 is formed over a surface. The plurality of sensitization electrodes 31 are provided in a matrix shape so as to face the common electrode 9. The plurality of mountain-like pressure sensitive layers 33 are respectively formed on the common electrode 9 sides of the plurality of sensitization electrodes 31. When, due to a pressing force acting from the common electrode 9 toward the mountain-like pressure sensitive layers 33 and toward the sensitization electrodes 31, a contact surface where the common electrode 9 and the mountain-like pressure sensitive layers 33 come into contact with each other expands from the center portion, in a plan view, of the mountain-like pressure sensitive layers 33 to the outside, the distance from the sensitization electrodes 31 to the outer edge of the contact surface gradually decreases.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est d'élargir, dans un capteur de pression comprenant une pluralité d'électrodes agencées avec un intervalle entre elles, une plage de mesure de pression dans laquelle une mesure peut être effectuée avec précision. La solution selon l'invention porte sur un capteur de pression (1) pourvu d'une électrode commune (9), d'une pluralité d'électrodes de sensibilisation (31), d'une pluralité de couches sensibles à la pression en forme de montagnes (33), et d'une pluralité de transistors à couches minces (30). L'électrode commune (9) est formée sur une surface. La pluralité d'électrodes de sensibilisation (31) sont disposées en forme de matrice de manière à faire face à l'électrode commune (9). La pluralité de couches sensibles à la pression en forme de montagne (33) sont respectivement formées sur les côtés électrode commune (9) de la pluralité d'électrodes de sensibilisation (31). Lorsque, sous l'effet d'une force de pression agissant depuis l'électrode commune (9) vers les couches sensibles à la pression en forme de montagnes (33) et vers les électrodes de sensibilisation (31), une surface de contact où l'électrode commune (9) et les couches sensibles à la pression en forme de montagnes (33) viennent en contact les unes avec les autres s'étend à partir de la partie centrale, dans une vue en plan, des couches sensibles à la pression en forme de montagnes (33) vers l'extérieur, la distance entre les électrodes de sensibilisation (31) et le bord externe de la surface de contact diminue progressivement.
(JA) 【課題】 互いに隙間を空けて配置された複数の電極を有する圧力センサにおいて、正確に測定できる圧力測定範囲を広くする。 【解決手段】 圧力センサ1は、共通電極9と、複数の増感電極31と、複数の山型感圧層33と、複数の薄膜トランジスタ30とを備えている。共通電極9は、一面に広がって形成されている。複数の増感電極31は、共通電極9に対向してマトリクス状に設けられている。複数の山型感圧層33は、複数の増感電極31の共通電極9側の上にそれぞれ形成されている。増感電極31は、押圧力が共通電極9から山型感圧層33及び増感電極31に向かって作用することによって共通電極9と山型感圧層33が接触する接触面が山型感圧層33の平面視中心部から外側に広がっていくときに、接触面の外縁との距離が徐々に短くなる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)