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1. (WO2018070112) 磁気検出素子
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国際公開番号: WO/2018/070112 国際出願番号: PCT/JP2017/030229
国際公開日: 19.04.2018 国際出願日: 24.08.2017
IPC:
G01R 33/09 (2006.01) ,H01L 43/08 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33
磁気的変量を測定する計器または装置
02
磁界または磁束の方向または大きさの測定
06
電流磁気装置を使用するもの
09
磁気抵抗装置を使用するもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43
電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
08
磁界制御抵抗
出願人:
株式会社デンソー DENSO CORPORATION [JP/JP]; 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 1-1, Showa-cho, Kariya-city Aichi 4488661, JP
発明者:
奥田 泰行 OKUDA Yasuyuki; JP
小林 篤史 KOBAYASHI Atsushi; JP
梶尾 啓貴 KAJIO Hiroki; JP
巻田 真宏 MAKITA Michihiro; JP
代理人:
金 順姫 JIN Shunji; JP
優先権情報:
2016-20239914.10.2016JP
発明の名称: (EN) MAGNETIC DETECTION ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT DE DÉTECTION MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気検出素子
要約:
(EN) This magnetic detection element is provided with: an element part (20) which includes a plurality of linear sections (21) arranged in parallel with one another and a plurality of connection sections (22) connecting the plurality of linear sections to one another in a meandering shape and which is formed on one surface (11) of a substrate (10); and a metallic film (30) the resistance value of which is lower than that of the element part and the resistance value of which is not changed by an external magnetic field. The metallic film incudes: a first layered section (31) layered on a folded section (24) which is formed of the connection sections and connection portions between the connection sections and the linear sections in the element part; and a second layered section (32) being integrated with the first layered section and covering the entire region which is, on said one surface, surrounded by an inner end (24b) of the folded section. The first layered section has an outer peripheral edge (31a) which is disposed on a side closer to the inner end than an outer end (24a) of the folded section such that an outer peripheral edge (24c) of the folded section is exposed.
(FR) L'invention concerne un élément de détection magnétique comportant : une partie d'élément (20) qui comprend une pluralité de sections linéaires (21) agencées en parallèle l'une avec l'autre et une pluralité de sections de liaison (22) reliant la pluralité de sections linéaires l'une à l'autre selon une forme sinueuse et qui est formée sur une surface (11) d'un substrat (10) ; et un film métallique (30) dont la valeur de résistance est inférieure à celle de la partie d'élément et dont la valeur de résistance n'est pas modifiée par un champ magnétique externe. Le film métallique comprend : une première section stratifiée (31) stratifiée sur une section pliée (24) qui est formée des sections de liaison et des parties de liaison entre les sections de liaison et les sections linéaires dans la partie d'élément ; et une seconde section stratifiée (32) étant intégrée à la première section stratifiée et recouvrant toute la région qui est, sur ladite surface, entourée par une extrémité interne (24b) de la section pliée. La première section stratifiée a un bord périphérique externe (31a) qui est disposé sur un côté plus proche de l'extrémité interne qu'une extrémité externe (24a) de la section pliée de telle sorte qu'un bord périphérique externe (24c) de la section pliée est mis à nu.
(JA) 磁気検出素子は、並列配置された複数の直線部(21)と、前記複数の直線部を蛇行状に繋ぐ複数の接続部(22)と、を有する強磁性薄膜として基板(10)の一面(11)に形成された素子部(20)と、抵抗値が前記素子部よりも小さく、かつ、外部磁場により抵抗値が変化しない金属膜(30)と、を備える。前記金属膜は、前記素子部のうちの前記接続部と前記直線部との連結部分及び前記接続部によって構成された折り返し部(24)に積層された第1積層部(31)と、前記第1積層部に一体化されていると共に、前記一面のうち前記折り返し部の内側端部(24b)で囲まれた範囲の全体を覆う第2積層部(32)と、を有する。前記第1積層部は、前記折り返し部の外縁部(24c)を露出させるように前記折り返し部の外側端部(24a)よりも前記内側端部側に配置された外周縁部(31a)を有している。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)