WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2018069976) ターゲット供給装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/069976 国際出願番号: PCT/JP2016/080142
国際公開日: 19.04.2018 国際出願日: 11.10.2016
IPC:
H05G 2/00 (2006.01)
出願人: GIGAPHOTON INC.[JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者: NAKANO, Masaki; JP
代理人: MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) TARGET SUPPLY APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ALIMENTATION CIBLE
(JA) ターゲット供給装置
要約: front page image
(EN) A target supply apparatus according to an aspect of the present invention is provided with: a nozzle through which a target is outputted; a plurality of vibrators including a first vibrator that vibrates the nozzle; a detection unit that detects a change in the state of the target outputted from the nozzle; a vibrator switching unit that switches vibrators for vibrating the nozzle from the first vibrator to another vibrator which is included in the vibrators and is different from the first vibrator; and a control unit that controls switching of the vibrators for vibrating the nozzle, on the basis of the change in the state of the target outputted from the nozzle, the change having been detected by the detection unit.
(FR) Un appareil d'alimentation cible selon un aspect de la présente invention comprend : une buse à travers laquelle une cible est délivrée en sortie ; une pluralité de vibreurs comprenant un premier vibreur qui fait vibrer la buse ; une unité de détection qui détecte un changement de l'état de la cible délivrée par la buse ; une unité de commutation de vibreur qui commute des vibreurs pour faire vibrer la buse du premier vibreur à un autre vibreur qui est inclus dans les vibreurs et est différent du premier vibreur ; et une unité de commande qui commande la commutation des vibreurs pour faire vibrer la buse, sur la base du changement de l'état de la cible délivrée par la buse, le changement ayant été détecté par l'unité de détection.
(JA) 本開示の一観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第1振動子を含む複数の振動子と、ノズルから出力したターゲットの状態の変化を検知する検知部と、ノズルを振動させる振動子を第1振動子から複数の振動子に含まれる第1振動と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、検知部によって検知されたノズルから出力したターゲットの状態の変化に基づいて、ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、を備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)