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1. (WO2018069976) ターゲット供給装置

Pub. No.:    WO/2018/069976    International Application No.:    PCT/JP2016/080142
Publication Date: Fri Apr 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 12 01:59:59 CEST 2016
IPC: H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: NAKANO, Masaki
中野 真生
Title: ターゲット供給装置
Abstract:
本開示の一観点に係るターゲット供給装置は、ターゲットを出力するノズルと、ノズルを振動させる第1振動子を含む複数の振動子と、ノズルから出力したターゲットの状態の変化を検知する検知部と、ノズルを振動させる振動子を第1振動子から複数の振動子に含まれる第1振動と異なる他の振動子へ切り替える振動子切替部と、検知部によって検知されたノズルから出力したターゲットの状態の変化に基づいて、ノズルを振動させる振動子の切り替えを制御する制御部と、を備えている。