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1. (WO2018069951) 高光電変換効率太陽電池の製造方法及び高光電変換効率太陽電池
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国際公開番号: WO/2018/069951 国際出願番号: PCT/JP2016/004584
国際公開日: 19.04.2018 国際出願日: 14.10.2016
IPC:
H01L 31/0224 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
02
細部
0224
電極
出願人:
信越化学工業株式会社 SHIN-ETSU CHEMICAL CO.,LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区大手町二丁目6番1号 6-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
発明者:
渡部 武紀 WATABE, Takenori; JP
三田 怜 MITTA, Ryo; JP
橋上 洋 HASHIGAMI, Hiroshi; JP
大塚 寛之 OHTSUKA, Hiroyuki; JP
代理人:
好宮 幹夫 YOSHIMIYA, Mikio; JP
小林 俊弘 KOBAYASHI, Toshihiro; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) METHOD FOR MANUFACTURING SOLAR CELL HAVING HIGH PHOTOELECTRIC CONVERSION EFFICIENCY, AND SOLAR CELL HAVING HIGH PHOTOELECTRIC CONVERSION EFFICIENCY
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLULE SOLAIRE AYANT UN HAUT RENDEMENT DE CONVERSION PHOTOÉLECTRIQUE, ET CELLULE SOLAIRE AYANT UN HAUT RENDEMENT DE CONVERSION PHOTOÉLECTRIQUE
(JA) 高光電変換効率太陽電池の製造方法及び高光電変換効率太陽電池
要約:
(EN) The present invention provides a method for manufacturing a solar cell, the method comprising: a step for preparing a semiconductor substrate having a dielectric film on at least a first main surface; a step for partially removing the dielectric film of the semiconductor substrate; and a step for forming an electrode along the region from which the dielectric film has been partially removed, the method further comprising a step for measuring a relative positional relationship between the position of the formed electrode and the position of the region from which the dielectric film has been partially removed, with respect to the semiconductor substrate after the execution of the step for partially removing the dielectric film and the step for forming the electrode, wherein, on the basis of the measured positional relationship, by using a newly prepared semiconductor substrate having the dielectric film on at least the first main surface, the position of the region from which the dielectric film is to be partially removed is adjusted, and the dielectric film is partially removed. Thus, a solar cell production yield is improved by reducing misalignment between the region in which the dielectric film has been partially removed and the electrode formed along the region.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une cellule solaire, le procédé comprenant : une étape de préparation d'un substrat semi-conducteur ayant un film diélectrique sur au moins une première surface principale ; une étape d'élimination partielle du film diélectrique du substrat semi-conducteur ; et une étape de formation d'une électrode le long de la région à partir de laquelle le film diélectrique a été partiellement éliminé, le procédé comprenant en outre une étape de mesure d'une relation de position relative entre la position de l'électrode formée et la position de la région à partir de laquelle le film diélectrique a été partiellement éliminé, par rapport au substrat semi-conducteur après l'exécution de l'étape d'élimination partielle du film diélectrique et de l'étape de formation de l'électrode. Sur la base de la relation de position mesurée, en utilisant un substrat semi-conducteur nouvellement préparé ayant le film diélectrique au moins sur la première surface principale, la position de la région à partir de laquelle le film diélectrique doit être partiellement éliminé est ajustée, et le film diélectrique est partiellement éliminé. Ainsi, un rendement de production de cellule solaire est amélioré par réduction du désalignement entre la région dans laquelle le film diélectrique a été partiellement éliminé et l'électrode formée le long de la région.
(JA) 本発明は、少なくとも第一主表面に誘電体膜を有する半導体基板を準備する工程と、該半導体基板の誘電体膜を部分的に除去する工程と、誘電体膜が部分的に除去された領域に沿って電極を形成する工程とを有する太陽電池の製造方法であって、誘電体膜を部分的に除去する工程と電極を形成する工程を実施した後の半導体基板に対して、誘電体膜が部分的に除去された領域の位置と形成した電極の位置の相対的な位置関係を測定する工程を有し、測定された位置関係に基づいて、新たに準備した少なくとも第一主表面に誘電体膜を有する半導体基板に対して、誘電体膜を部分的に除去する領域の位置を調整した後に誘電体膜を部分的に除去する太陽電池の製造方法である。これにより、誘電体膜を部分的に除去した領域とその領域に沿って形成された電極の位置ずれを低減し、太陽電池の製造歩留りを向上させる太陽電池の製造方法が提供される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)