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1. (WO2018066698) 形状測定装置及び方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2018/066698 国際出願番号: PCT/JP2017/036510
国際公開日: 12.04.2018 国際出願日: 06.10.2017
IPC:
G01B 11/24 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
B
長さ,厚さまたは同種の直線寸法の測定;角度の測定;面積の測定;表面または輪郭の不規則性の測定
11
光学的手段の使用によって特徴づけられた測定装置
24
輪郭または曲率の測定用
出願人: INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION RESEARCH ORGANIZATION OF INFORMATION AND SYSTEMS[JP/JP]; 10-3, Midori-cho, Tachikawa-shi, Tokyo 1900014, JP
発明者: SATO, Imari; JP
ASANO, Yuta; JP
ZHENG, Yinqiang; JP
NISHINO, Ko; US
代理人: SAMEJIMA, Mutsumi; JP
KAWABATA, Junichi; JP
優先権情報:
62/405,51207.10.2016US
発明の名称: (EN) SHAPE MEASURING DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE DE FORME
(JA) 形状測定装置及び方法
要約:
(EN) This shape measuring device is provided with: a light source which radiates light having first and second wavelengths onto the surface of an object having reflectance factors with respect to the first and second wavelengths, via a medium having absorption coefficients at the first and second wavelengths; a sensor which receives light that has come from the surface of the object and has propagated through the medium, and which measures the intensities at the first and second wavelengths; and a measuring unit which calculates the distance from the surface of the medium to the surface of the object on the basis of the measured intensities at the first and second wavelengths, and on the basis of the absorption coefficients at the first and second wavelengths, and measures the shape of the object on the basis of the calculated distance. The first and second wavelengths are selected such that a difference between the intensity for a minimum distance at the first wavelength and the intensity for a maximum distance at the second wavelength is greater than a prescribed first value, and such that a difference between the reflectance factor at the first wavelength and the reflectance factor at the second wavelength is smaller than a prescribed second value.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme qui est pourvu de : une source de lumière qui rayonne une lumière ayant des première et deuxième longueurs d’onde sur la surface d’un objet ayant des facteurs de réflectance pour les première et deuxième longueurs d’onde, par l’intermédiaire d’un milieu ayant des coefficients d’absorption aux première et deuxième longueurs d’onde ; un capteur qui reçoit de la lumière qui provient de la surface de l’objet et qui s’est propagée à travers le milieu, et qui mesure les intensités aux première et deuxième longueurs d’onde ; et une unité de mesure qui calcule la distance de la surface du milieu à la surface de l’objet sur la base des intensités mesurées aux première et deuxième longueurs d’onde, et sur la base des coefficients d’absorption aux première et deuxième longueurs d’onde, et mesure la forme de l’objet sur la base de la distance calculée. Les première et deuxième longueurs d’onde sont choisies de sorte qu’une différence entre l’intensité pour une distance minimale à la première longueur d’onde et l’intensité pour une distance maximale à la deuxième longueur d’onde soit supérieure à une première valeur prescrite, et de sorte qu’une différence entre le facteur de réflectance à la première longueur d’onde et le facteur de réflectance à la deuxième longueur d’onde soit inférieure à une deuxième valeur prescrite.
(JA) 形状測定装置は、第1及び第2の波長における各吸収係数を有する媒質を介して、第1及び第2の波長の各反射率係数を有する物体の表面に、第1及び第2の波長を有する光を照射する光源と、物体の表面から来て媒質を通って伝搬する光を受光して、第1及び第2の波長の各強度を測定するセンサと、測定された第1及び第2の波長の各強度と、第1及び第2の波長における吸収係数に基づいて、媒質の表面から物体の表面までの距離を計算し、計算された距離に基づいて物体の形状を測定する測定部とを備える。第1及び第2の波長は、第1の波長における最短距離の強度と第2の波長における最長距離の強度との差が所定の第1の値よりも大きくなり、かつ、第1の波長における反射率係数と第2の波長における反射率係数との差が所定の第2の値よりも小さくなるように選択される。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)