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1. (WO2018066515) パターン反転のための被覆組成物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/066515    国際出願番号:    PCT/JP2017/035827
国際公開日: 12.04.2018 国際出願日: 02.10.2017
IPC:
C09D 183/04 (2006.01), B05D 1/32 (2006.01), B05D 1/36 (2006.01), B05D 3/10 (2006.01), B05D 7/00 (2006.01), B05D 7/24 (2006.01), C09D 7/12 (2006.01), G03F 7/40 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 7-1, Kanda-Nishiki-cho 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054 (JP)
発明者: YAGUCHI, Hiroaki; (JP).
NAKAJIMA, Makoto; (JP).
ENDO, Yuki; (JP).
SHIBAYAMA, Wataru; (JP).
SHIGAKI, Shuhei; (JP)
代理人: HANABUSA PATENT & TRADEMARK OFFICE; Shin-Ochanomizu Urban Trinity, 2, Kandasurugadai 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010062 (JP)
優先権情報:
2016-196747 04.10.2016 JP
発明の名称: (EN) COATING COMPOSITION FOR PATTERN INVERSION
(FR) COMPOSITION DE REVÊTEMENT DESTINÉE À UNE INVERSION DE MOTIF
(JA) パターン反転のための被覆組成物
要約: front page image
(EN)[Problem] To provide a pattern-inversion coating composition that is not only for filling spaces within a pattern of an organic underlayer film to which a resist pattern formed over a substrate to be processed has been transferred, but also for forming a flat film. [Solution] A coating composition which is to be applied to an organic underlayer film to which a resist pattern has been transferred, the coating composition containing a polysiloxane formed by reacting an alcohol with silanol groups of a product of the hydrolysis and condensation of one or more hydrolyzable silanes, 50-100 mol% of which are accounted for by a hydrolyzable silane having four hydrolyzable groups in the molecule. The hydrolyzable silanes are represented by formula (1): R1aSi(R2)4-a, and comprise 50-100 mol% hydrolyzable silane in which a is 0 and 0-50 mol% hydrolyzable silane in which a is 1 or 2. The alcohol is propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, or 3-methoxybutanol.
(FR)Le problème décrit par l'invention est de produire une composition de revêtement à inversion de motif destinée non seulement à remplir des espaces à l'intérieur d'un motif d'un film de sous-couche organique auquel un motif de réserve formé sur un substrat à traiter a été transféré, mais également à former un film plat. La solution selon l'invention porte sur une composition de revêtement qui doit être appliquée à un film de sous-couche organique auquel un motif de réserve a été transféré, la composition de revêtement contenant un polysiloxane formé par réaction d'un alcool avec des groupes silanol d'un produit de l'hydrolyse et de la condensation d'un ou plusieurs silanes hydrolysables, dont 50 à 100 % en moles sont constitués d'un silane hydrolysable possédant quatre groupes hydrolysables dans la molécule. Les silanes hydrolysables sont représentés par la formule (1) : R1 aSi(R2)4-a, et comprennent 50 à 100 % en moles de silane hydrolysable dans lequel a est 0 et 0 à 50 % en moles de silane hydrolysable dans lequel a est 1 ou 2. L'alcool est l'éther monométhylique de propylène glycol, l'éther monoéthylique de propylène glycol, ou le 3-méthoxybutanol.
(JA)【課題】 被加工基板上に形成されたレジストパターンを下層に転写した有機下層膜のパターンに対し、パターン間隙を埋めると共に、平坦な膜を形成するパターン反転用被覆組成物を提供する。 【解決手段】 レジストパターンを下層に転写した有機下層膜上に被覆される被覆組成物であり、該被覆組成物は全シラン中に4つの加水分解性基を分子内に有する加水分解性シランが50モル%乃至100モル%の割合となる加水分解性シランの加水分解縮合物のシラノール基がアルコールと反応したポリシロキサンを含む被覆組成物。加水分解性シランが式(1): RaSi(R2)4-a 式(1) において、aが0である加水分解性シランを50モル%乃至100モル%、aが1乃至2である加水分解性シランを0モル%乃至50モル%の割合で含むものである。アルコールがプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル又は3-メトキシブタノールである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)