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1. (WO2018066372) フェノール性水酸基含有樹脂及びレジスト材料
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国際公開番号:    WO/2018/066372    国際出願番号:    PCT/JP2017/034062
国際公開日: 12.04.2018 国際出願日: 21.09.2017
IPC:
C08G 8/36 (2006.01), C07D 251/34 (2006.01), C08G 65/34 (2006.01), G03F 7/032 (2006.01)
出願人: DIC CORPORATION [JP/JP]; 35-58, Sakashita 3-chome, Itabashi-ku, Tokyo 1748520 (JP)
発明者: IMADA Tomoyuki; (JP).
NAGAE Norio; (JP)
代理人: KONO Michihiro; (JP)
優先権情報:
2016-197203 05.10.2016 JP
発明の名称: (EN) PHENOLIC HYDROXYL GROUP-CONTAINING RESIN AND RESIST MATERIAL
(FR) RÉSINE COMPRENANT UN GROUPE HYDROXYLE PHÉNOLIQUE, ET MATÉRIAU DE RÉSERVE
(JA) フェノール性水酸基含有樹脂及びレジスト材料
要約: front page image
(EN)The purpose of the invention is to provide: a phenolic hydroxyl group-containing resin that has excellent flowability and provides excellent heat resistance and dry etching resistance in a cured product; and a curable composition and a resist material containing said resin. Provided is a phenolic hydroxyl group-containing resin which is a reaction product of a bisnaphthol compound (a1) represented by structural formula (1) (wherein X represents a C1-14 hydrocarbon group, R1s each independently represent an aliphatic hydrocarbon group, an alkoxy group, a halogen atom, an aryl group or an aralkyl group, m is 0, 1 or 2, and n is an integer of 0 or 1 to 4) and a cyanuric halide (a2), the phenolic hydroxyl group-containing resin having a polydispersity (Mw/Mn) within a range from 1.01 to 1.30.
(FR)L’invention a pour objet de fournir une résine comprenant un groupe hydroxyle phénolique qui présente une excellente fluidité, et dont la résistance à la chaleur sous forme d’article durci et la résistance à la gravure sèche sont élevées, et également de fournir une composition durcissable ainsi qu’un matériau de réserve qui comprennent cette résine. Plus précisément, l’invention fournit une résine comprenant un groupe hydroxyle phénolique qui consiste en un produit de réaction d’un composé bisnaphtol (a1) représenté par la formule structurale (1) (Dans la formule, X représente un groupe hydrocarbure de 1 à 14 atomes de carbone. R représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarbure aliphatique ou un groupe alcoxy ou un atome d’halogène ou un groupe aryle ou un groupe aralkyle. m vaut 0, 1 ou 2, et n vaut 0 ou représente un nombre entier de 1 à 4.), et d’un halogénure cyanurique (a2), sa polydispersité (Mw/Mn) étant comprise dans une plage de 1,01 à 1,30.
(JA)流動性に優れ、硬化物における耐熱性及びドライエッチング耐性が高いフェノール性水酸基含有樹脂、これを含有する硬化性組成物、及びレジスト材料を提供することを目的とし、下記構造式(1)(式中Xは炭素原子数1~14の炭化水素基を表す。Rはそれぞれ独立に脂肪族炭化水素基、アルコキシ基、ハロゲン原子、アリール基、アラルキル基の何れかである。mは0、1又は2、nは0又は1~4の整数である。) で表されるビスナフトール化合物(a1)とハロゲン化シアヌル(a2)との反応生成物であって、多分散度(Mw/Mn)が1.01~1.30の範囲であるフェノール性水酸基含有樹脂を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)