国際・国内特許データベース検索

1. (WO2018066361) 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体

Pub. No.:    WO/2018/066361    International Application No.:    PCT/JP2017/033949
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 11/00
G01B 11/06
G01B 15/02
G01N 21/3586
Applicants: PIONEER CORPORATION
パイオニア株式会社
Inventors: OCHIAI, Takanori
落合 孝典
Title: 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体
Abstract:
検査装置100は、複数の層Lが積層された試料Sにテラヘルツ波THzを照射する照射部110と、試料からのテラヘルツ波を検出して検出波形DWを取得する検出部130と、検出波形のうち比較対象範囲WRに含まれる波形部分を、テラヘルツ波の推定波形EWを示すライブラリ1522aと比較することで、界面B1及びB2の位置を推定する推定部1523と、比較対象範囲を調整する調整部1521とを備える。