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1. (WO2018066286) ビーム走査装置およびパターン描画装置
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国際公開番号: WO/2018/066286 国際出願番号: PCT/JP2017/031737
国際公開日: 12.04.2018 国際出願日: 04.09.2017
IPC:
G02B 26/12 (2006.01) ,G02B 26/10 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
10
走査系
12
多面体鏡を用いるもの
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
08
光の方向を制御するためのもの
10
走査系
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南二丁目15番3号 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
発明者:
加藤正紀 KATO Masaki; JP
鬼頭義昭 KITO Yoshiaki; JP
代理人:
千葉剛宏 CHIBA Yoshihiro; JP
宮寺利幸 MIYADERA Toshiyuki; JP
千馬隆之 SENBA Takayuki; JP
大内秀治 OUCHI Hideharu; JP
仲宗根康晴 NAKASONE Yasuharu; JP
坂井志郎 SAKAI Shiro; JP
関口亨祐 SEKIGUCHI Kosuke; JP
山野明 YAMANO Akira; JP
優先権情報:
2016-19643804.10.2016JP
発明の名称: (EN) BEAM SCANNING DEVICE AND PATTERN DRAWING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE BALAYAGE DE FAISCEAU ET DISPOSITIF DE DESSIN DE MOTIF
(JA) ビーム走査装置およびパターン描画装置
要約:
(EN) A drawing unit (Un) is provided with an fθ lens system (FT) on which a processing beam (LBn) deflected by a reflective surface (RP) of a polygon mirror (PM) having a variable angle becomes incident, and which condenses the processing beam (LBn) on a substrate (P) as a spot light (SP). The spot light (SP) is scanned in accordance with the change in the angle of the reflective surface (RP) of the polygon mirror (PM). The drawing unit (Un) is provided with: a beam transmission part (60a) which projects, on the reflective surface (RP) of the polygon mirror (PM), a beam (Bga) for detecting a starting point at which the reflective surface (RP) of the polygon mirror (PM) has a prescribed angle; a reflecting mirror (MRa) on which the beam (Bgb) reflected by the reflective surface (RP) becomes incident, and which reflects said beam towards the reflective surface (RP); and a detection unit (60b) which outputs a starting point signal (SZn) on the basis of the beam (Bgd) reflected again by the reflective surface (RP).
(FR) Une unité de dessin (Un) est pourvue d'un système de lentille fθ (FT) sur lequel un faisceau de traitement (LBn) dévié par une surface réfléchissante (RP) d'un miroir polygonal (PM) ayant un angle variable devient incident, et qui condense le faisceau de traitement (LBn) sur un substrat (P) sous la forme d'une lumière ponctuelle (SP). La lumière ponctuelle (SP) est balayée en fonction du changement de l'angle de la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM). L'unité de dessin (Un) comprend: une partie de transmission de faisceau (60a) qui projette, sur la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM), un faisceau (Bga) pour détecter un point de départ auquel la surface réfléchissante (RP) du miroir polygonal (PM) a un angle prescrit; un miroir réfléchissant (MRa) sur lequel le faisceau (Bgb) réfléchi par la surface réfléchissante (RP) devient incident, et qui réfléchit ledit faisceau vers la surface réfléchissante (RP); et une unité de détection (60b) qui émet un signal de point de départ (SZn) sur la base du faisceau (Bgd) réfléchi à nouveau par la surface réfléchissante (RP).
(JA) 描画ユニット(Un)は、角度可変のポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)で偏向された加工用のビーム(LBn)を入射して、基板(P)に加工用のビーム(LBn)をスポット光(SP)として集光するfθレンズ系(FT)を備え、ポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)の角度変化に応じてスポット光(SP)を走査する。描画ユニット(Un)は、ポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)が所定角度になる原点を検出するためのビーム(Bga)をポリゴンミラー(PM)の反射面(RP)に投射するビーム送光部(60a)と、反射面(RP)で反射したビーム(Bgb)を入射して、反射面(RP)に向けて反射する反射ミラー(MRa)と、反射面(RP)で再度反射したビーム(Bgd)に基づいて、原点信号(SZn)を出力する検出部(60b)と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)