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1. (WO2018066135) 荷電粒子線装置、電子線発生装置、X線源、X線装置および構造物の製造方法
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国際公開番号: WO/2018/066135 国際出願番号: PCT/JP2016/080000
国際公開日: 12.04.2018 国際出願日: 07.10.2016
IPC:
H01J 35/14 (2006.01) ,G01N 23/04 (2006.01) ,H01J 35/16 (2006.01) ,H05G 1/02 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 35/14][IPC code unknown for G01N 23/04][IPC code unknown for H01J 35/16][IPC code unknown for H05G 1/02]
出願人:
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南二丁目15番3号 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
発明者:
山田 篤志 YAMADA, Atsushi; JP
梅本 高明 UMEMOTO, Takaaki; JP
鈴木 正平 SUZUKI, Shohei; JP
遠藤 剛 ENDO, Takeshi; JP
三浦 聡 MIURA, Satoshi; JP
代理人:
永井 冬紀 NAGAI, Fuyuki; JP
渡辺 隆男 WATANABE, Takao; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, ELECTRON BEAM GENERATION DEVICE, X-RAY SOURCE, X-RAY DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, SOURCE DE RAYONS X, DISPOSITIF À RAYONS X ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE
(JA) 荷電粒子線装置、電子線発生装置、X線源、X線装置および構造物の製造方法
要約:
(EN) This charged particle beam device has: a partition wall section for forming a depressurized or vacuum region; an ejection source, which is disposed in the depressurized or vacuum region, and which ejects charged particles to the inside of the partition wall section; an excitation member disposed outside of the depressurized or vacuum region by having the partition wall section therebetween; and an internal magnetic pole, which is disposed inside of the depressurized or vacuum region, and which serves as a magnetic pole due to a magnetic field generated by the excitation member.
(FR) L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées qui comprend: une section de paroi de séparation pour former une région dépressurisée ou sous vide; une source d'éjection, qui est disposée dans la région dépressurisée ou sous vide, et qui éjecte des particules chargées vers l'intérieur de la section de paroi de séparation; un élément d'excitation disposé à l'extérieur de la région dépressurisée ou sous vide en ayant la section de paroi de séparation au milieu ; et un pôle magnétique interne qui est disposé à l'intérieur de la région dépressurisée ou sous vide, et qui sert de pôle magnétique en raison d'un champ magnétique généré par l'élément d'excitation.
(JA) 荷電粒子線装置は、減圧または真空領域を形成するための隔壁部と、減圧または真空領域内に配置され、荷電粒子を隔壁部内に射出する射出源と、減圧または真空領域に対し隔壁部を介して外部に配置された励起部材と、減圧または真空領域の内部に配置され、励起部材からの磁場により磁極となる内部磁極と、を有する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)