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1. (WO2018066064) 高電圧電源装置

Pub. No.:    WO/2018/066064    International Application No.:    PCT/JP2016/079491
Publication Date: Fri Apr 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Oct 05 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 49/42
H02J 1/00
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
Inventors: AOKI, Yasushi
青木 寧
Title: 高電圧電源装置
Abstract:
スイッチ回路(4)をオン、スイッチ回路(3、17、18)をオフして負電圧発生部(2)からフライトチューブ(5)に負の直流電圧を印加し測定を実施する間に、スイッチ回路(15)をオンし補助正電圧発生部(11)によりコンデンサ(13)を充電する。印加電圧の極性を負から正に切り替える際に、スイッチ回路(4)をオフする一方スイッチ回路(17)をオンし、コンデンサ(13)からフライトチューブ(5)に大電流を供給してその静電容量を迅速に正電位に充電する。そのあと、スイッチ回路(17)をオフ、スイッチ回路(3)をオンすることで正電圧発生部(1)から安定した正の直流電圧をフライトチューブ(5)に印加する。このように正負極性の切替え時にフライトチューブ(5)の静電容量を迅速に充放電することで、電圧発生部(1、2)の最大出力電流に制約があっても、安定した電圧を印加するまでの立上り時間を短縮することができる。