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1. (WO2018062516) 流量制御弁及びそれを用いた質量流量制御装置
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国際公開番号: WO/2018/062516 国際出願番号: PCT/JP2017/035574
国際公開日: 05.04.2018 国際出願日: 29.09.2017
IPC:
F16K 1/42 (2006.01) ,F16K 7/16 (2006.01) ,G05D 7/00 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
1
リフト弁,すなわち少なくとも1つの構成要素が閉鎖面に垂直な開閉動作をする閉鎖部材をもつ締め切り装置
32
細部
34
締め切り部品
42
弁座
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
7
ダイヤフラム締め切り装置,例.流路を閉鎖するために,全部は動かないが,変形される部材をもつもの
12
平担,皿状,わん状,のダイヤフラム
14
平担弁座面に対して変形されるように配置されているもの
16
機械的に作動されるダイヤフラム,例.ねじスピンドルまたはカム作動
G 物理学
05
制御;調整
D
非電気的変量の制御または調整系
7
流量の制御
出願人:
日立金属株式会社 HITACHI METALS, LTD. [JP/JP]; 東京都港区港南一丁目2番70号 2-70, Konan 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1088224, JP
発明者:
佐々木 龍 SASAKI Ryu; JP
岩吉 亮一 IWAYOSHI Ryouichi; JP
代理人:
特許業務法人プロスペック特許事務所 PROSPEC PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中村区太閤三丁目1番18号 名古屋KSビル12階 12th Floor, NAGOYA-KS Building, 1-18, Taiko 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi, Aichi 4530801, JP
優先権情報:
2016-19124929.09.2016JP
発明の名称: (EN) FLOW CONTROL VALVE AND MASS FLOW CONTROL DEVICE IN WHICH SAME IS USED
(FR) SOUPAPE DE RÉGULATION DE DÉBIT ET DISPOSITIF DE RÉGULATION DE DÉBIT MASSIQUE DANS LEQUEL CELLE-CI EST UTILISÉE
(JA) 流量制御弁及びそれを用いた質量流量制御装置
要約:
(EN) Provided is a flow control valve comprising: a valve seat, which has an internal cylinder part having a closed surface on the upper end thereof, and an external cylinder part having a greater height than does the internal cylinder part; and a valve body that opens and closes in a direction perpendicular to the closed surface of the valve seat, wherein the internal cylinder part and the external cylinder part are configured from an internal cylinder member and an external cylinder member, which are separate members fitted together in an airtight manner. This makes it possible for the closed surface of the internal cylinder part to be machined smoothly, and for the flow rate of gas in a small flow rate range to be more accurately controlled by the flow control valve than in the past. The arithmetic average roughness of the closed surface of the valve seat is preferably no more than 100 nm.
(FR) La présente invention concerne une soupape de régulation de débit comprenant : un siège de soupape, qui présente une partie cylindre interne ayant une surface fermée sur son extrémité supérieure, et une partie cylindre externe ayant une hauteur supérieure à celle de la partie cylindre interne ; et un corps de soupape qui s'ouvre et se ferme dans une direction perpendiculaire à la surface fermée du siège de soupape, la partie cylindre interne et la partie cylindre externe étant conçues à partir d'un élément de cylindre interne et d'un élément de cylindre externe, qui sont des éléments séparés ajustés ensemble de manière étanche à l'air. Ceci permet à la surface fermée de la partie cylindre interne d'être usinée sans à-coups, et au débit de gaz dans une petite plage de débit d’être commandé de manière plus précise par la soupape de régulation de débit que dans le passé. La rugosité moyenne arithmétique de la surface fermée du siège de soupape est de préférence inférieure ou égale à 100 nm.
(JA) 上端部に閉鎖面を有する内筒部と、内筒部よりも高さが高い外筒部とを有する弁座と、弁座の閉鎖面に垂直な方向に開閉動作をする弁体とを有する流量制御弁において、気密に嵌め合わされる別個の部材である内筒部材及び外筒部材によって内筒部及び外筒部を構成する。これにより、内筒部の閉鎖面を平滑に加工して、当該流量制御弁により、少ない流量範囲でのガスの流量を従来よりも正確に制御することができる。弁座の閉鎖面の算術平均粗さが100ナノメートル以下であることが好ましい。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)