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1. (WO2018062157) 相分離構造を含む構造体の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/062157    International Application No.:    PCT/JP2017/034702
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: C08J 7/00
B05D 3/00
B05D 5/00
C09D 153/00
Applicants: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
東京応化工業株式会社
Inventors: DAZAI Takahiro
太宰 尚宏
YAMANO Hitoshi
山野 仁詩
KAWAUE Akiya
川上 晃也
MIYAGI Ken
宮城 賢
Title: 相分離構造を含む構造体の製造方法
Abstract:
ブロックコポリマー、及びカチオン部とアニオン部とを有する化合物(IL)を含むイオン液体を含有する相分離構造形成用樹脂組成物を用いて、基板1上にブロックコポリマーを含む層(BCP層)3を形成する工程と、化合物(IL)の少なくとも一部を気化させ、かつ、BCP層3を相分離させて、相分離構造を含む構造体3'を得る工程と、を有する、相分離構造を含む構造体の製造方法。