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1. (WO2018061957) 基板搬送ハンドの診断システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/061957    国際出願番号:    PCT/JP2017/034016
国際公開日: 05.04.2018 国際出願日: 21.09.2017
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B25J 13/08 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
出願人: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670 (JP)
発明者: GOTO, Hirohiko; (--).
YOSHIDA, Tetsuya; (--).
TAN, Haruhiko; (--).
FUJIMORI, Kazuo; (--).
YAMASHITA, Katsuhiro; (--).
SUMITOMO, Masahiko; (--)
代理人: PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031 (JP)
優先権情報:
2016-189150 28.09.2016 JP
発明の名称: (EN) DIAGNOSTIC SYSTEM OF SUBSTRATE CONVEYANCE HAND
(FR) SYSTÈME DE DIAGNOSTIC DE MAIN DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ハンドの診断システム
要約: front page image
(EN)This diagnostic system, for diagnosing a substrate conveyance hand comprising a base part which is linked to a hand part of a robot arm, and a substrate holding part which is coupled to the base part and holds a substrate, is provided with: a camera which is fixed to the base part and images the substrate holding part; and a diagnostic device which acquires image information imaged by the camera and diagnoses the soundness of the substrate holding part on the basis of the image information.
(FR)L'invention concerne un système de diagnostic destiné à diagnostiquer une main de transport de substrat, comprenant une partie de base qui est reliée à une partie formant main d'un bras de robot, et une partie de maintien de substrat qui est couplée à la partie de base et qui maintient un substrat. Le système de diagnostic comprend : une caméra qui est fixée à la partie de base et qui capture des images de la partie de maintien de substrat ; et un dispositif de diagnostic qui acquiert des informations d'image soumises à un traitement d'image par la caméra et qui diagnostique le bon état de la partie de maintien de substrat en se basant sur les informations d'image.
(JA)ロボットアームの手先部に連結される基部と、基部と結合され、基板を保持する基板保持部とを備える基板搬送ハンドの診断システムが、基部に固定され、基板保持部を撮像するカメラと、カメラが撮像した画像情報を取得し、当該画像情報に基づいて基板保持部の健常性を診断する診断装置とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)