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1. (WO2018061811) 決定方法及び装置、プログラム、情報記録媒体、露光装置、レイアウト情報提供方法、レイアウト方法、マーク検出方法、露光方法、並びにデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/061811    国際出願番号:    PCT/JP2017/033376
国際公開日: 05.04.2018 国際出願日: 15.09.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G03F 7/22 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
発明者: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; (JP)
優先権情報:
2016-188889 27.09.2016 JP
発明の名称: (EN) DETERMINATION METHOD AND DEVICE, PROGRAM, INFORMATION RECORDING MEDIUM, EXPOSING DEVICE, LAYOUT INFORMATION PROVIDING METHOD, LAYOUT METHOD, MARK DETECTION METHOD, EXPOSING METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTERMINATION, PROGRAMME, SUPPORT D'ENREGISTREMENT D'INFORMATIONS, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE FOURNITURE D'INFORMATIONS DE DISPOSITION, PROCÉDÉ DE DISPOSITION, PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE MARQUE, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF
(JA) 決定方法及び装置、プログラム、情報記録媒体、露光装置、レイアウト情報提供方法、レイアウト方法、マーク検出方法、露光方法、並びにデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a determination device (50) comprising calculation units (10, 12), wherein, where respective pitches in a first direction and a second direction that intersect with each other in a predetermined plane of a plurality of detection regions are D1, D2, respective sizes in the first direction and the second direction of a plurality of section regions arranged two-dimensionally along the first direction and the second direction on a substrate are W1, W2, and respective pitches in the first direction and the second direction of a plurality of marks arranged on the substrate are p1, p2, the calculation units (10, 12) calculate the pitch p1 and pitch p2 of the plurality of marks satisfying formulas (a) and (b) below on the basis of the pitch D1, pitch D2, size W1 and size W2. p1 = D1/i (where, i denotes a natural number) = W1/m (where, m denotes a natural number) …… (a) p2 = D2/j (where, j denotes a natural number) = W2/n (where, n denotes a natural number) …… (b)
(FR)L'invention concerne un dispositif de détermination (50) comprenant des unités de calcul (10, 12), des pas respectifs dans une première direction et une seconde direction qui se croisent mutuellement dans un plan prédéfini d'une pluralité de régions de détection étant D1, D2, des tailles respectives dans la première direction et la seconde direction d'une pluralité de régions de section agencées de façon bidimensionnelle le long de la première direction et de la seconde direction sur un substrat étant W1, W2 et des pas respectifs dans la première direction et la seconde direction d'une pluralité de marques disposées sur le substrat étant p1, p2, les unités de calcul (10, 12) calculant le pas p1 et le pas p2 de la pluralité de marques répondant aux formules (a) et (b) ci-dessous sur la base du pas D1, du pas D2, de la taille W1 et de la taille W2. P1 = D1/i (où i représente un entier naturel) = W1/m (où m représente un entier naturel) …… (a) p2 = D2/j (où j représente un entier naturel) = W2/n (où n représente un entier naturel) …… (b)
(JA)決定装置(50)は、複数の検出領域の所定面内で交差する第1方向及び第2方向のピッチをそれぞれD、Dとし、基板上に第1方向及び第2方向に沿って2次元配列される複数の区画領域それぞれの第1方向及び第2方向のサイズをそれぞれW、Wとし、さらに基板上に配置される複数のマークの第1方向及び第2方向のピッチをそれぞれp、pとして、ピッチD1、ピッチD2、サイズW及びサイズWに基づいて、下式(a)、(b)を満たす、複数のマークのピッチp及びピッチpを算出する算出部(10、12)を備える。 p=D/i(iは自然数)=W/m(mは自然数)……(a) p=D/j(jは自然数)=W/n(nは自然数)……(b)
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)