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1. (WO2018061778) プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法
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国際公開番号: WO/2018/061778 国際出願番号: PCT/JP2017/033102
国際公開日: 05.04.2018 国際出願日: 13.09.2017
IPC:
C04B 35/569 (2006.01) ,H01L 21/3065 (2006.01)
[IPC code unknown for C04B 35/569][IPC code unknown for H01L 21/3065]
出願人:
北陸成型工業株式会社 HOKURIKU SEIKEI INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 石川県小松市花坂町リ80番地 Ri 80, Hanasaka-machi, Komatsu-shi, Ishikawa 9230157, JP
国立大学法人東北大学 TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 宮城県仙台市青葉区片平2-1-1 2-1-1, Katahira, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9800812, JP
発明者:
鈴木 智久 SUZUKI, Tomohisa; JP
宮原 陸人 MIYAHARA, Michito; JP
佐々木 優 SASAKI, Masaru; JP
代理人:
特許業務法人 英和特許事務所 EIWA PATENT FIRM; 福岡県福岡市博多区博多駅前一丁目1番1号 博多新三井ビル 4階 Hakata-Shin-mitsui bldg., 4F, 1-1-1, Hakataekimae, Hakata-ku, Fukuoka-shi, Fukuoka 8120011, JP
優先権情報:
2016-18836127.09.2016JP
発明の名称: (EN) SILICON CARBIDE MEMBER FOR PLASMA TREATMENT APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
(FR) ÉLÉMENT EN CARBURE DE SILICIUM POUR APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法
要約:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a low-cost, durable silicon carbide member for a plasma treatment apparatus. This silicon carbide member for a plasma treatment apparatus is obtained by mixing powdered alpha silicon carbide having an average particle size of 0.3–3 μm, a metal impurity content reduced to more than 20 ppm but no more than 70 ppm, and containing 50 ppm or less Al impurities, and a sintering aid comprising 0.5–5 parts by weight B4C or a total of 3–15 parts by weight Al2O3 and Y2O3, sintering the mixed powdered alpha silicon carbide and sintering aid in an argon atmosphere oven or a radio-frequency dielectric heating oven, and then machining the obtained sintered compact.
(FR) La présente invention vise à fournir un élément en carbure de silicium durable et à faible coût pour un appareil de traitement au plasma. La présente invention concerne par conséquent un élément en carbure de silicium pour un appareil de traitement au plasma qui est obtenu par mélange de carbure de silicium alpha pulvérulent ayant une taille de particule moyenne de 0,3 à 3 µm, une teneur en impuretés métalliques réduite à plus de 20 ppm mais pas plus de 70 ppm, et contenant 50 ppm ou moins d'impuretés d'Al, et d'un adjuvant de frittage comprenant 0,5 à 5 parties en poids de B4C ou un total de 3 à 15 parties en poids d'Al 2O3 et d'Y2O3, par frittage du carbure de silicium alpha en poudre et de l'adjuvant de frittage mélangés dans un four à atmosphère d'argon ou un four de chauffage diélectrique radio-fréquence, puis par usinage du comprimé fritté obtenu.
(JA) 本発明は、低コストで耐久性の良いプラズマ処理装置用炭化ケイ素部材を提供することを目的とする。 本発明のプラズマ処理装置用炭化ケイ素部材は、金属系不純物を20ppm超70ppm以下に削減し、かつ、Al不純物を50ppm以下含有する平均粒径が0.3~3μmのα構造炭化ケイ素粉末と、0.5~5重量部のB4Cからなる焼結助剤又はAl23及びY23の合計量が3~15重量部からなる焼結助剤とを混合し、混合したα構造炭化ケイ素粉末及び焼結助剤をアルゴン雰囲気炉内又は高周波誘電加熱炉内で焼結した後、得られた焼結体を加工して得られる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)