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1. (WO2018061656) カチオン変性シリカの製造方法およびカチオン変性シリカ分散体、ならびにカチオン変性シリカを用いた研磨用組成物の製造方法およびカチオン変性シリカを用いた研磨用組成物

Pub. No.:    WO/2018/061656    International Application No.:    PCT/JP2017/031956
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: C01B 33/146
B24B 37/00
C09G 1/02
H01L 21/304
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: TAGUCHI, Souma
田口 創万
ASHITAKA, Keiji
芦▲高▼ 圭史
MIWA, Naoya
三輪 直也
Title: カチオン変性シリカの製造方法およびカチオン変性シリカ分散体、ならびにカチオン変性シリカを用いた研磨用組成物の製造方法およびカチオン変性シリカを用いた研磨用組成物
Abstract:
シランカップリング剤を用いてシリカ原料を変性させることを含むカチオン変性シリカの製造において、シランカップリング剤の添加時や添加後におけるゲル化の発生を抑制しうる手段を提供する。本発明は、ゼータ電位が負の値を示すシリカ原料と、アミノ基または4級カチオン基を有するシランカップリング剤とを混合し、前記シリカ原料と前記シランカップリング剤とを反応させて、カチオン変性シリカを得ることを有し、 前記カチオン変性シリカは、以下の関係式(1): 関係式(1)中、Xは、カチオン変性シリカの等電点となるpHの値であり、Yは、カチオン変性シリカのpHの値である を満たす、カチオン変性シリカの製造方法。