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1. (WO2018061636) 容量測定回路及び容量測定システム

Pub. No.:    WO/2018/061636    International Application No.:    PCT/JP2017/031762
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Sep 05 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01R 27/26
H01G 13/00
Applicants: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
株式会社村田製作所
Inventors: SUGIBAYASHI, Hideaki
杉林 英明
NAKAO, Motoyasu
中尾 元保
Title: 容量測定回路及び容量測定システム
Abstract:
容量測定回路は、センス端子TSとベース端子TBとの間のセンス容量10と、ベース端子TBとガード端子TGとの間の浮遊容量11と、センス端子TSとガード端子TGとの間の浮遊容量12とを有するMEMS容量センサ1のセンス容量Csを、センス端子TSから測定するフロントエンド回路2及び信号処理回路3を備えた容量測定回路であって、所定期間において、センス端子TSとガード端子TGとを同一の電位にする制御回路を備える。従って、本発明によれば、容量センサの浮遊容量の影響を受けずに、従来技術に比較して高い精度で静電容量を測定することができる。