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1. (WO2018061608) 波長分散型蛍光X線分析装置およびそれを用いる蛍光X線分析方法

Pub. No.:    WO/2018/061608    International Application No.:    PCT/JP2017/031495
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 23/223
G01N 23/207
Applicants: RIGAKU CORPORATION
株式会社リガク
Inventors: KATO, Shuichi
加藤 秀一
KATAOKA, Yoshiyuki
片岡 由行
FUJIMURA, Hajime
藤村 一
YAMADA, Takashi
山田 隆
Title: 波長分散型蛍光X線分析装置およびそれを用いる蛍光X線分析方法
Abstract:
本発明の波長分散型蛍光X線分析装置は、相異なる分光角度の2次X線(41)の各強度を対応する検出素子(7)で検出する位置敏感型検出器(10)と、検出素子(7)の配列方向位置と検出素子(7)の検出強度との関係を測定スペクトルとして表示器(15)に表示する測定スペクトル表示手段(14)と、ピーク領域およびバックグラウンド領域が設定される検出領域設定手段(16)と、ピーク領域におけるピーク強度、バックグラウンド領域におけるバックグラウンド強度およびバックグラウンド補正係数に基づいて、ネット強度として測定対象の蛍光X線の強度を算出して定量分析を行う定量手段(17)とを備える。