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1. (WO2018061607) 波長分散型蛍光X線分析装置

Pub. No.:    WO/2018/061607    International Application No.:    PCT/JP2017/031494
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 23/223
G01N 23/207
Applicants: RIGAKU CORPORATION
株式会社リガク
Inventors: KATO, Shuichi
加藤 秀一
YAMADA, Takashi
山田 隆
KATAOKA, Yoshiyuki
片岡 由行
Title: 波長分散型蛍光X線分析装置
Abstract:
直線状に配列された複数の検出素子(7)を有する単一の一次元検出器(10)を備えた波長分散型蛍光X線分析装置であって、一次元検出器(10)の位置について、検出素子(7)の配列方向が分光素子(6)における分光角度方向に対して平行となる平行位置と交差する交差位置とのいずれかに設定するための検出器位置変更機構(11)を備え、平行位置では、一次元検出器(10)の受光面が集光2次X線(42)の焦点に位置し、交差位置では、受光スリット(9)が集光2次X線(42)の焦点に配置され、一次元検出器(10)の受光面は受光スリット(9)よりも分光素子(6)から離れた集光2次X線(42)の進行方向側に位置する。