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1. (WO2018061485) 薬液、薬液収容体、薬液の製造方法、及び、薬液収容体の製造方法

Pub. No.:    WO/2018/061485    International Application No.:    PCT/JP2017/028505
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Aug 08 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/16
C11C 3/00
C11D 7/04
C11D 7/50
C11D 17/08
H01L 21/304
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: KAMIMURA Tetsuya
上村 哲也
Title: 薬液、薬液収容体、薬液の製造方法、及び、薬液収容体の製造方法
Abstract:
本発明は、優れた欠陥抑制性能を有し、その薬液の製造時に、薬液の製造用の装置が備える移送管路の破損を起こしにくい薬液を提供することを課題とする。また、本発明は、薬液収容体、薬液の製造方法、及び、薬液収容体の製造方法を提供することも課題とする。本発明の薬液は、有機溶剤と、Fe原子、Cr原子、Ni原子、及び、Pb原子からなる群から選択される少なくとも1種の原子のイオンと、を含有する薬液であって、薬液に1種の上記イオンが含有されている場合、上記金属イオンの含有量が0.1~100質量pptであり、薬液に2種以上の上記イオンが含有されている場合、上記金属イオンのそれぞれの含有量が0.1~100質量pptであって、帯電電位が100mV以下である。