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1. (WO2018061212) チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成装置

Pub. No.:    WO/2018/061212    International Application No.:    PCT/JP2016/079166
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/20
H05G 2/00
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: ISHIHARA, Takanobu
石原 孝信
Title: チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成装置
Abstract:
【課題】チャンバと、チャンバ内の所定領域へターゲット材料であるスズを供給するターゲット生成装置とを含むチャンバ装置において、溶融したスズの酸化を防止する。 【解決手段】チャンバ(1)と、スズTを貯蔵するタンク部(32)、タンク部(32)内のスズTの温度を変化させる温度可変装置(33、38)、タンク部(32)内の圧力を変化させる圧力調節器(31)、および液体状のスズTを吐出するノズル部(34)を備えるターゲット生成装置と、チャンバ(1)内に水素ガスを含むガスを供給するガス供給源(40)と、チャンバ(1)内の気体を排気する排気装置(46)と、ターゲット生成を制御する制御部(2)とを含むチャンバ装置において、制御部(2)は、チャンバ(1)内の酸素分圧が4×10-5Pa以下となるように排気装置(46)を制御する。