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1. (WO2018061212) チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/061212    国際出願番号:    PCT/JP2016/079166
国際公開日: 05.04.2018 国際出願日: 30.09.2016
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
出願人: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
発明者: ISHIHARA, Takanobu; (JP)
代理人: YANAGIDA, Masashi; (JP).
SAKUMA, Tsuyoshi; (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) CHAMBER DEVICE, TARGET GENERATION METHOD, AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF À CHAMBRE, PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE CIBLE, ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成装置
要約: front page image
(EN)[Problem] To prevent oxidation of molten tin in a chamber device that includes a chamber, and a target generation device for supplying tin, i.e., a target material, to a predetermined region in the chamber. [Solution] Disclosed is a chamber device that includes: a chamber (1); a target generation device that is provided with a tank section (32) for storing tin T, temperature variable devices (33, 38) for changing the temperature of the tin T in the tank section (32), a pressure regulator (31) for changing the pressure in the tank section (32), and a nozzle section (34) for jetting the liquid tin T; a gas supply source (40) for supplying a gas to the inside of the chamber (1), said gas containing hydrogen gas; an exhaust device (46) for releasing a gas from the inside of the chamber (1); and a control unit (2) for controlling target generation. The control unit (2) controls the exhaust device (46) such that the oxygen partial pressure in the chamber (1) is 4×10-5 Pa or lower.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est d'empêcher l'oxydation de l'étain fondu dans un dispositif à chambre qui comprend une chambre, et un dispositif de génération de cible permettant de fournir de l'étain, c'est-à-dire un matériau cible, à une région prédéfinie dans la chambre. La solution selon l'invention porte sur un dispositif à chambre qui inclut : une chambre (1) ; un dispositif de génération de cible pourvu d'une section réservoir (32) servant à stocker de l'étain (T), de dispositifs à température variable (33, 38) permettant de modifier la température de l'étain (T) dans la section réservoir (32), d'un régulateur de pression (31) destiné à modifier la pression dans ladite section réservoir (32), et d'une section buse (34) conçue pour projeter l'étain liquide (T) ; une source d'alimentation en gaz (40) servant à alimenter en gaz l'intérieur de la chambre (1), ledit gaz contenant de l'hydrogène gazeux ; un dispositif d'échappement (46) permettant de libérer un gaz depuis l'intérieur de cette chambre (1) ; et une unité de commande (2) destinée à commander la génération de cible. L'unité de commande (2) commande le dispositif d'échappement (46) de telle sorte que la pression partielle d'oxygène dans ladite chambre (1) soit égale à 4 × 10-5 Pa ou moins.
(JA)【課題】チャンバと、チャンバ内の所定領域へターゲット材料であるスズを供給するターゲット生成装置とを含むチャンバ装置において、溶融したスズの酸化を防止する。 【解決手段】チャンバ(1)と、スズTを貯蔵するタンク部(32)、タンク部(32)内のスズTの温度を変化させる温度可変装置(33、38)、タンク部(32)内の圧力を変化させる圧力調節器(31)、および液体状のスズTを吐出するノズル部(34)を備えるターゲット生成装置と、チャンバ(1)内に水素ガスを含むガスを供給するガス供給源(40)と、チャンバ(1)内の気体を排気する排気装置(46)と、ターゲット生成を制御する制御部(2)とを含むチャンバ装置において、制御部(2)は、チャンバ(1)内の酸素分圧が4×10-5Pa以下となるように排気装置(46)を制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)