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1. (WO2018061080) 窒化物半導体紫外線発光素子の製造方法及び窒化物半導体紫外線発光素子

Pub. No.:    WO/2018/061080    International Application No.:    PCT/JP2016/078410
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Sep 28 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 33/20
Applicants: SOKO KAGAKU CO., LTD.
創光科学株式会社
Inventors: HIRANO, Akira
平野 光
NAGASAWA, Yosuke
長澤 陽祐
IPPOMMATSU, Masamichi
一本松 正道
Title: 窒化物半導体紫外線発光素子の製造方法及び窒化物半導体紫外線発光素子
Abstract:
基板10と、当該基板10の主面101上に積層される複数の半導体層21を有するとともに通電することで光を出射する素子構造部20と、を備えるチップに対して、少なくとも、基板10における主面101とは反対側の面である裏面の四つの角が凸状の曲面になるように、基板10を研削加工する。これにより、レンズ面(凸状の曲面)102を有する基板10を得る。