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1. (WO2018061064) レジスト剥離液

Pub. No.:    WO/2018/061064    International Application No.:    PCT/JP2016/004436
Publication Date: Fri Apr 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/42
Applicants: PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD.
パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventors: FUCHIGAMI, Shinichirou
淵上 真一郎
KITO, Yusuke
鬼頭 佑典
Title: レジスト剥離液
Abstract:
半導体装置等の製造プロセスでは、従来より高温度で硬化を行いレジストの硬化不良を回避している。したがって、従来より剥離力の強い剥離液が必要となる。 二級アミンと、極性溶媒として、1,3-ジメチルー2-イミダゾリジノン(DMI)と、水を含み、添加剤としてヒドラジンを含み、前記水は、10.0質量%以上31.0質量%未満であることを特徴とするレジスト剥離液は、高温ベークされたレジストを剥離することができ、膜表面や断面への腐食も起こさない。