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1. (WO2018056419) 元素分析装置及び元素分析方法

Pub. No.:    WO/2018/056419    International Application No.:    PCT/JP2017/034391
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 49/04
G01N 27/62
G01N 31/12
Applicants: HORIBA, LTD.
株式会社堀場製作所
HORIBA STEC, CO., LTD.
株式会社堀場エステック
Inventors: INOUE, Takahito
井上 貴仁
UCHIHARA, Hiroshi
内原 博
SASAI, Kohei
笹井 浩平
IKEYAMA, Toshihiro
池山 俊広
Title: 元素分析装置及び元素分析方法
Abstract:
本発明は、加熱炉と真空雰囲気で元素を定量分析する質量分析計とを組み合わせた元素分析装置において、試料ガスに含まれるAr元素を精度良く定量分析する。キャリアガスを導入しながら試料が入った黒鉛るつぼ(11)を加熱することで該試料を気化して試料ガスを生成する加熱炉(10)と、前記加熱炉から導出されるキャリアガス及び試料ガスからなる混合ガス中の該試料ガスに含まれるAr元素を真空雰囲気で定量分析する四重極型質量分析計(40)と、前記加熱炉(10)に導入されるキャリアガスの圧力を制御する第1調圧器(111)と、前記加熱炉(10)から導出される混合ガスの圧力を制御する第2調圧器(126)とを備える。