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1. (WO2018056281) 硬化膜形成組成物

Pub. No.:    WO/2018/056281    International Application No.:    PCT/JP2017/033810
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Sep 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: C09D 133/26
C08F 22/38
C08L 33/24
C09D 7/12
C09D 201/04
G03F 7/20
H01L 29/786
H01L 51/05
H01L 51/30
Applicants: NISSAN CHEMICAL CORPORATION
日産化学株式会社
Inventors: YUKAWA Shojiro
湯川 昇志郎
HOSHINO Yuki
星野 有輝
Title: 硬化膜形成組成物
Abstract:
(A)成分として、下記式(1)の構造を有する第1モノマー由来の構造単位を含む重合体、 (B)成分として光酸発生剤、 (C)成分として微粒子、及び 溶剤を含有することを特徴とする、硬化膜形成用樹脂組成物 (式中、R1は水素またはメチル基を表し、R2はそれが結合する酸素原子を伴って脱離可能な有機基を表す。)は、形成された硬化膜が高い撥液性(疎液性)を有し、少ない紫外線露光量で親撥液性を容易に変化させることができ、しかも、表面張力の高い液体に対しても親液部が高い親液性を有し、また有機溶媒に対する耐溶剤性を有する硬化膜形成用樹脂組成物である。