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1. (WO2018056277) 化合物、樹脂、組成物、並びにレジストパターン形成方法及び回路パターン形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2018/056277    国際出願番号:    PCT/JP2017/033799
国際公開日: 29.03.2018 国際出願日: 20.09.2017
IPC:
C07C 39/15 (2006.01), C07C 39/17 (2006.01), G03F 7/11 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G03F 7/40 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. [JP/JP]; 5-2, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008324 (JP)
発明者: ECHIGO, Masatoshi; (JP)
代理人: INABA, Yoshiyuki; (JP).
ONUKI, Toshifumi; (JP).
NAITO, Kazuhiko; (JP)
優先権情報:
2016-183026 20.09.2016 JP
発明の名称: (EN) COMPOUND, RESIN, COMPOSITION, RESIST PATTERN FORMING METHOD AND CIRCUIT PATTERN FORMING METHOD
(FR) COMPOSÉ, RÉSINE, COMPOSITION, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF PHOTOSENSIBLE ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF DE CIRCUIT
(JA) 化合物、樹脂、組成物、並びにレジストパターン形成方法及び回路パターン形成方法
要約: front page image
(EN)A compound represented by expression (0) is provided. (In expression (0), RY is a hydrogen atom, an alkyl group of 1-30 carbons or an aryl group of 6-30 carbons, RZ is an N-valent group of 1-60 carbons or a simple bond, RT is a hydrogen atom, the RS's are independently an alkyl group of 1-30 carbons optionally having a substituent, an aryl group of 6-30 carbons optionally having a substituent, an alkenyl group of 2-30 carbons optionally having a substituent, an alkoxy group of 1-30 carbons optionally having a substituent, a halogen atom, a nitro group, an amino group, a carboxylic acid group, a thiol group or a hydroxy group, with the aforementioned alkyl group, aryl group, alkenyl group and alkoxy group optionally including an ether bond, a ketone bond or an ester bond, the m's are independently integers between 0 and 7, N is an integer between 1 and 4, and, if N is an integer greater than or equal to 2, then the N structural formulas inside the square brackets '[]' may be the same or different.)
(FR)L'invention concerne un composé représenté par l'expression (0). (Dans l'expression (0), R Y est un atome d'hydrogène, un groupe alkyle de 1 à 30 atomes de carbone ou un groupe aryle de 6 à 30 atomes de carbone, R Z est un groupe de valence N de 1 à 60 atomes de carbone ou une liaison simple, R T est un atome d'hydrogène, les R S sont indépendamment un groupe alkyle de 1 à 30 atomes de carbone ayant éventuellement un substituant, un groupe aryle de 6 à 30 atomes de carbone ayant éventuellement un substituant, un groupe alcényle de 2 à 30 atomes de carbone ayant éventuellement un substituant, un groupe alcoxy de 1 à 30 atomes de carbone ayant éventuellement un substituant, un atome d'halogène, un groupe nitro, un groupe amino, un groupe acide carboxylique, un groupe thiol ou un groupe hydroxy, avec le groupe alkyle susmentionné, le groupe aryle, le groupe alcényle et le groupe alcoxy comprenant éventuellement une liaison éther, une liaison cétone ou une liaison ester, les m sont indépendamment des nombres entiers entre 0 et 7, N est un nombre entier compris entre 1 et 4, et si N est un nombre entier supérieur ou égal à 2, alors les N formules structurales à l'intérieur des crochets '[]' peuvent être identiques ou différents.)
(JA)本発明は、下記式(0)で表される、化合物を提供する。 (式(0)中、Rは、水素原子、炭素数1~30のアルキル基又は炭素数6~30のアリール基であり、 Rは、炭素数1~60のN価の基又は単結合であり、 Rは、水素原子であり、 Rは、各々独立して、置換基を有していてもよい炭素数1~30のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数6~30のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数2~30のアルケニル基、置換基を有していてもよい炭素数1~30のアルコキシ基、ハロゲン原子、ニトロ基、アミノ基、カルボン酸基、チオール基又は水酸基であり、前記アルキル基、前記アリール基、前記アルケニル基及び前記アルコキシ基は、エーテル結合、ケトン結合又はエステル結合を含んでいてもよく、 mは、各々独立して0~7の整数であり、Nは、1~4の整数であり、ここで、Nが2以上の整数の場合、N個の[ ]内の構造式は同一であっても異なっていてもよい。)
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)