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1. (WO2018056232) 光電変換素子及び固体撮像装置

Pub. No.:    WO/2018/056232    International Application No.:    PCT/JP2017/033599
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 16 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 27/146
H01L 31/10
H04N 5/355
H04N 5/374
Applicants: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION SHIZUOKA UNIVERSITY
国立大学法人静岡大学
Inventors: KAWAHITO Shoji
川人 祥二
Title: 光電変換素子及び固体撮像装置
Abstract:
構造が簡単でダイナミックレンジが広く、且つ高速・高感度な光電変換素子及び固体撮像装置を提供する。第1導電型の基体領域と、基体領域の上部に選択的に埋め込まれ、基体領域とフォトダイオード(PD)をなす第2導電型の表面埋込領域(33a)と、基体領域の上部に埋め込まれ、表面埋込領域(33a)から転送されたフォトダイオード(PD)が生成した第1信号電荷を蓄積する第2導電型の第1電荷蓄積領域(SD1)と、基体領域に埋め込まれ、表面埋込領域(33a)から転送されたフォトダイオード(PD)が生成した第2信号電荷を蓄積する第2導電型の第2電荷蓄積領域(SD2)とを備え、第1の時間で表面埋込領域(33a)から第1電荷蓄積領域(SD1)へ第1信号電荷を転送し、第1の時間よりも短い第2の時間で表面埋込領域(33a)から第2電荷蓄積領域(SD2)へ第2信号電荷を転送することを1フレーム中で複数回繰り返す。